В Омском НИИ приборостроения (входит в холдинг «Росэлектроника») разработана перспективная технология изготовления тонкопленочных СВЧ-резонаторов, использующихся в российской радиоэлектронной аппаратуре.

Специалисты ОНИИП провели работу по исследованию влияния конструктивных и технологических решений на параметры тонкопленочных СВЧ-резонаторов для реализации устройств частотной селекции и стабилизации частоты.

В ходе исследования был разработан способ напыления пленок алюминия с малой шероховатостью поверхности, позволяющий изготавливать СВЧ-резонаторы с улучшенными параметрами.

Также специалисты ОНИИП разработали технологию изготовления тонкопленочных СВЧ-резонаторов с Брэгговским отражателем, позволяющую создавать резонансные структуры в едином технологическом цикле на частоту от 2 до 5 ГГц, а в перспективе до 20 ГГц. Эта технология позволяет освоить выпуск принципиально новой для российского рынка продукции в области микроэлектроники и в несколько раз снизить вес и размеры устройств, например полученные образцы на частоту 5 ГГц имеют размеры 1,5×1,5×0,6 мм.

По данной технологии были изготовлены опытные образцы СВЧ-резонаторов на основе пленок оксида цинка и нитрида алюминия с добротностью 300-350 единиц и 500-650 единиц соответственно. Полученные образцы показали, что разработанные по этой технологии СВЧ-резонаторы, по электрическим и технологическим характеристикам превосходят российские и зарубежные аналоги по ряду параметров.