MAX
Подпишись
стань автором. присоединяйся к сообществу!
27 февраля 305
24

Новый шаг к созданию архитектуры промышленного рентгеновского литографа

© scientificrussia.ru

Сделан важный шаг на пути создания архитектуры промышленного рентгеновского литографа. В Институте физики микроструктур РАН — филиале Института прикладной физики им. А.В. Гапонова-Грехова (ИПФ РАН) создан уникальный стенд, который является прототипом лазерно-плазменного источника рентгеновского литографа нового поколения на длину волны 11,2 нм

[читать статью полностью...]

Кстати, а вы знали, что на «Сделано у нас» статьи публикуют посетители, такие же как и вы? И никакой премодерации, согласований и разрешений! Любой может добавить новость. А лучшие попадут в наш Телеграм @sdelanounas_ru. Подробнее о том как работает наш сайт здесь👈

Источник: scientificrussia.ru

Комментарии 7

Для комментирования необходимо войти на сайт

  • 6
    Нет аватара DimaY27.02.26 11:28:02

    Это очень круто! И гораздо компактнее, чем ASML. Да и почище, но еще предстоит доводить смежные технологии. Но результат уже серьезный.

    • 3
      Нет аватара termometrix27.02.26 17:49:44

      Российские ученые разработали собственную концепцию развития высокопроизводительной рентгеновской литографии. Она основана на ряде инновационных решений, которые приведут к снижению энергетики литографа, уменьшению его габаритных размеров, стоимости оборудования и его использования примерно на порядок.
      https://science...ws/view?id=1538