Экскурсия на завод микроэлектроники «Микрон»: как делают чипы для электронного паспорта

До этого дня я был в Зеленограде дважды. В первый раз на производстве микроэлектронных устройств компании «Миландр». Второй раз на микроэлектронном производстве ЗНТЦ. Все это здесь рядом, ходил вокруг да около цехов «Микрона», но на крупнейший в России завод микроэлектроники удалось попасть только сейчас.

• 

•  © Роман Ковригин/Сделано у нас

Поводом для посещения был годовой отчет компании и начало производства микрочипов для новых электронных паспортов. Отчет впечатляет. Так в прошлом году Микрон вышел на чистую прибыль в 584 миллиона рублей, а выручка впервые превысила 10 миллиардов рублей. Причем, пятую часть составляет экспорт микросхем. Но отчеты это скучно, в конце концов уже давно готов пресс-релиз, с которым можно ознакомиться на сайте компании. А мы, пожалуй проследуем на производство.

Чипы для паспортов, компания производит по технологии 180 нм, на пластинах 200 мм. Я напомню, что у компании есть и 65 нм, но этот техпроцесс здесь применяют мало, он скорее лишь дополнение к действительно массовому производству 180-90 нм. В микроэлектронике вообще с недавних пор выделилось 2 параллельных направления — 180-90 нм и 27-10 нм. Продукты, производимые по этим двум направлениям практически не пересекаются, это разные продукты. Поэтому, те кто называют производство на Микроне устаревшим — неправы. Существует широкий перечень продуктов, которые нет смысла делать по более тонким техпроцессам, и эти продукты так же востребованы в мире. И Микрон здесь прочно занял свою нишу.

Но давайте посмотрим на производство. Оно начинается с чистой комнаты, куда в специальных герметичных SMIF-контейнерах приходят кремневые пластины 200 мм.

• 

•  © Роман Ковригин/Сделано у нас

Контейнер с пластинами загружается в установки для той или иной операции, после чего переносится в новую установку, для других операций в соответствии с технологическим процессом. Таких операций сотни, тут одних только химикатов используется около трех десятков разных видов.

• 

•  © Роман Ковригин/Сделано у нас

Производство сложнейшее, тут сотни видов оборудования, а под ним еще и тысячи километров коммуникаций, проводов, труб. Контакт с человеком минимизируется, поэтому операции максимально автоматизированы, химические растворы поступают по одним трубам, отходы химических реакций отводятся по другим.

Причем если общими для всех операций является операции фотолитографии и травления, то потом маршруты пластин могут отличаться в зависимости от продукта. Так одна пластина проводит внутри чистой комнаты до нескольких месяцев, пока на ней не будет сформирован нужный продукт.

• 

•  © Роман Ковригин/Сделано у нас

После такого длительного путешествия пластина тестируется, режется на отдельные микросхемы и отправляется в третий цех на сборку.

В зависимости от назначения, сборка осуществляется на разном оборудовании. Для RFID меток используются роботизированные линии Mühlbauer

• 

•  © Роман Ковригин/Сделано у нас

В них, в автоматическом режиме, микросхема RFID метки сажается на антенну. Антенны могут быть различной формы, поэтому установок несколько, что бы параллельно делать различные продукты

• 

•  © Роман Ковригин/Сделано у нас

Например, антенна может быть вот такой круглой формы. Такие используются в крышках, например, канистр с автомобильным маслом.

• 

•  © Роман Ковригин/Сделано у нас

Покупая масла некоторых производителей, знайте, там есть продукт Микрона.

• 

•  © Роман Ковригин/Сделано у нас

Но вообще Микрон выпускает огромное количество изделий, вот лишь некоторые из них

• 

•  © Роман Ковригин/Сделано у нас

Но, мы пришли посмотреть на новый чип для паспорта. Его сборка происходит на другом оборудовании в том же цехе. Сюда поступает уже готовая и разрезанная пластина, то есть каждый чип уже отделен от соседних.

• 

•  © Роман Ковригин/Сделано у нас

В оборудование загружается карта годности чипов, и согласно карте, манипулятор выбирает годные чипы и сажает их на трехрядную ленту

• 

•  © Роман Ковригин/Сделано у нас

• 

•  © Роман Ковригин/Сделано у нас

• 

•  © Роман Ковригин/Сделано у нас

После того, как чипу, золотой проволокой, развариваются контакты, он идет на герметизацию.

• 

•  © Роман Ковригин/Сделано у нас

И вот он, готовый продукт

• 

•  © Роман Ковригин/Сделано у нас

Всего в год Микрон планируется производить 10-12 млн чипов для паспортов в год. В 2018 году микрон произвел 13 млн чипов, но, при необходимости, Микрон свободно может увеличить производство в 2 и более раз, так что с производством чипов для паспортов граждан России он легко справится.

Хочешь всегда знать и никогда не пропускать лучшие новости о развитии России? У проекта «Сделано у нас» есть Телеграм-канал @sdelanounas_ru. Подпишись, и у тебя всегда будет повод для гордости за Россию.