MAX
Подпишись
стань автором. присоединяйся к сообществу!
27 февраля 239
24
termometrix Перспективные разработки, НИОКРы, изобретения

Новый шаг к созданию архитектуры промышленного рентгеновского литографа

© scientificrussia.ru

Сделан важный шаг на пути создания архитектуры промышленного рентгеновского литографа. В Институте физики микроструктур РАН — филиале Института прикладной физики им. А.В. Гапонова-Грехова (ИПФ РАН) создан уникальный стенд, который является прототипом лазерно-плазменного источника рентгеновского литографа нового поколения на длину волны 11,2 нм

[читать статью полностью...]

Кстати, а вы знали, что на «Сделано у нас» статьи публикуют посетители, такие же как и вы? И никакой премодерации, согласований и разрешений! Любой может добавить новость. А лучшие попадут в наш Телеграм @sdelanounas_ru. Подробнее о том как работает наш сайт здесь👈

Источник: scientificrussia.ru

Комментарии 7

Для комментирования необходимо войти на сайт

все комментарии
  • 0
    Владимир Козлов Владимир Козлов01.03.26 18:26:40

    Это эксперементальная установка, рано ещё говорить об области применения, точнее рано её ограничивать, но он точно будет для микроэлектроники, так-как это уже явно обозначалось ранее, а вот для чего ещё он будет востребован покажет время. Да и задавать здесь такие вопросы довольно бессмысленно, их стоит задать в ИПФ и Институте физики микроструктур РАН или около того.

    #1313120 ↑
    • 2
      Clausson Clausson01.03.26 19:45:44

      Пока еще любые вопросы задавать рано. Решаются общие концептуальные вопросы. Даже сама жизнеспособность схемы еще никекм (в МИРЕ!) не доказана. Литографы ASML единственный пока проверенно действующий вариант. И то, получился он только у голландцев и то, только потому, что по сути им удалось собрать идеи и решения со всего мира (в том числе идеи родом из СССР). Им просто повезло, время было такое. Никому другому не повезло, несмотря на всю финансовую мощь США и несмотря на всю имеющуюся волю японцев.
      Радует одно. У нас есть (остались) люди которые работают. Есть люди которые не бояться предложить нечто такое, чего нет ни у кого.
      Вопросы задавать рано. Надо просто пожелать им успеха в их очень нелегком труде.
      И надеяться что им помогут всем чем могут.

      #1313126 ↑
      • 1
        Sniper_78 Sniper_7802.03.26 06:40:56

        Лазерно-плазменный источник излучения на длину волны 13.5 нм по заказу голландцев целиком и полностью разработал как раз институт, о котором идёт речь в статье.

        #1313136 ↑