Специалисты АО «Ангстрем» разработали полностью отечественный кантилевер. Эта небольшая деталь является основным измерительным элементом атомно-силовых микроскопов и быстро изнашивается. Новая разработка не только обеспечит научные организации кантилеверами, но и позволит отработать технологии создания и производства элементов микроэлектронных механических систем (МЭМС).

Кантилевер является основой любого сканирующего зондового микроскопа. От его качеств зависит успешная работа микроскопа в целом.

Ангстремовский кантилевер представляет собой прямоугольное основание с выступающей из него балкой, шириной 30 микрометров (мкм) и длиной от 95 до 125 мкм. На свободном конце балки располагается зонд — маленькая кремневая игла, изготавливающаяся методом анизотропного травления. Высота иглы составляет 10-15 мкм.

[читать статью полностью...]