стань автором. присоединяйся к сообществу!
Лого Сделано у нас
91

Создан первый отечественный фотолитограф с разрешением 350 нм

Следи за успехами России в Телеграм @sdelanounas_ru

 © tass.ru

Компания-резидент ОЭЗ «Технополис Москва» ЗНТЦ создала первый фотолитограф в России с разрешением 350 нм. Фотолитограф создавался в сотрудничестве с белорусским заводом «Планар».

читать полностью

Источник: tass.ru

Поделись позитивом в своих соцсетях

  • 4
    Нет аватара DimaY
    24.03.2516:40:13

    Ролик хороший, но название не совсем удачное. В названии делается упор на литографе, но по факту речь идет о технологическом процессе 350 нм, где литограф важный, но не единственный элемент. И в мае был собран литограф, как машина, а сейчас это дополнено всем остальным. Так же обращу внимание, на важный момент. Механика Планаровская, но тут важно, что Планар это именно механика, а вот оптика там другая. В белорусском литографе на 350 нм площадь чипа, 9.4 кв.мм, то есть такой процессор, как МЦСТ R150 на нем сделать нельзя. На обсуждаемом литографе можно, даже есть очень большой запас. И характеристики белорусского литографа определялись именно оптикой и это был физический предел возможностей. У нас оптика другая, но кооперация с белоруссами абсолютно разумная и правильная на мой взгляд. Технически, использованную оптику можно поэтапно дотащить до 90 нм, и даже до 48. Но без других элементов технологического процесса это бред. Поэтому все идет абсолютно правильно с пониманием, что нужен не литограф, как красивая машинка, а нужно именно работающее производство со всеми элементами. Ну, а к концу года ждем известий о опытах с эксимерными лазерами, что уже дает большие возможности. Про источник около 10 нм, я бы пока не стал уверенно говорить.

    • 0
      Roman Wyrzykowski Roman Wyrzykowski
      24.03.2518:12:16

      И наверное только недавно ОКР был принят госкомиссией как рабочая установка и техпроцесс.

Написать комментарий
Отмена
Для комментирования вам необходимо зарегистрироваться и войти на сайт,