ЗНТЦ изготовил опытные установки электронно-лучевой литографии с проектными нормами 150 нм

Не придумывайте. К моменту распаду союза СССР достигло технологии 3 мкм, это уровень процессора 8088. Эта технология была создана большой кооперацией предприятий, с головой в Минске (современное предприятие Планар). Но по факту это был результат работы трех сестер — Россия, Белоруссия, Украина. Насчет Луганска ничего не слышал, с Украины точно участвовали предприятия Киева, Шостки, Днепродзержинска, Сум. Из России Москва, Ленинград, Красногорск, Зеленоград, Дзержинск, Новосибирск, Красноярск, Железногорск (тогда Красноярск-26). Наверняка многих не упомянул. Так что это было не одно предприятие. Так же во всем этом движе участвовало ГДР потом выпустило компьютер Роботрон и Болгария компьютер Правидс. С распадом СССР распалась и кооперация. Так что тут дело не в конкретном производстве, а в целой системе.

Понятно, что фотолитография отличается от безмасочной. Но я имел ввиду другое. Не зависимо от особенности технологии, размер имеет значение. Например вода. Вода для инъекций считается очень чистой для человека, для микроэлектроники это мерзкие помои. Безтермическая стерилизация воды для инъекций — фильтрация через фильтр 0,22 мкм. Это означает, что частицы 200 нм, вполне проходят через фильтр, и если ополоснуть кварцевую пластину такой водой и высушить, то на ней останутся частицы больше, чем элементы которые вам надо напечатать, неважно как, у Вас уже грязная поверхность. И так во всем, воздух, та же проблема, инертные газы, буквально все. Но самое мерзкое в этом деле это человек, который гадит постоянно. Это волосы, частицы кожи, аэрозоль при дыхании. Конечно есть костюмы, защита, есть даже бахилы для бороды, но всем этим надо уметь пользоваться, а это целая культура поведения и постоянного контроля. В Новосибирске было производство транзисторов, количество брака зависело от моды, пришла мода у девушек на длинные челки и количество брака резко возросло. Там на корпусировании в основном молодые девчонки работали. Так что кроме конкретного метода нанесения рисунка важно много чего еще.