Понятно, что фотолитография отличается от безмасочной. Но я имел ввиду другое. Не зависимо от особенности технологии, размер имеет значение. Например вода. Вода для инъекций считается очень чистой для человека, для микроэлектроники это мерзкие помои. Безтермическая стерилизация воды для инъекций — фильтрация через фильтр 0,22 мкм. Это означает, что частицы 200 нм, вполне проходят через фильтр, и если ополоснуть кварцевую пластину такой водой и высушить, то на ней останутся частицы больше, чем элементы которые вам надо напечатать, неважно как, у Вас уже грязная поверхность. И так во всем, воздух, та же проблема, инертные газы, буквально все. Но самое мерзкое в этом деле это человек, который гадит постоянно. Это волосы, частицы кожи, аэрозоль при дыхании. Конечно есть костюмы, защита, есть даже бахилы для бороды, но всем этим надо уметь пользоваться, а это целая культура поведения и постоянного контроля. В Новосибирске было производство транзисторов, количество брака зависело от моды, пришла мода у девушек на длинные челки и количество брака резко возросло. Там на корпусировании в основном молодые девчонки работали. Так что кроме конкретного метода нанесения рисунка важно много чего еще.