Лого Сделано у нас
49

В ИФМ РАН впервые в России создан стенд нанолитографии с проектным разрешением 30 нанометров

Впервые в России создан стенд проекционного нанолитографа с рабочей длиной волны 13,5 нм и расчетным разрешением 30 нм. Изображение наноструктуры с уменьшением 1:5 проецируется на фоторезисте с помощью двузеркального асферического объектива. Создание стенда свидетельствует о наличии в России ключевых технологий, позволяющих разрабатывать и производить литографическое оборудование, которое в ближайшие годы станет основным при производстве чипов с топологическими нормами 8-22 нм. 

Это уже старая новость от 2011 года, которую я неожиданно обнаружил благодаря пользователю с ником Техномагия НЛО. Спасибо ему за это!

Данная новость на сайте ИФМ РАН находится в разделе основных исследований и разработок готовых к практическому применению.

Проекционная литография экстремального ультрафиолетового излучения (EUVL), диапазон рабочих длин волн 13,5 нм ± 1%, является наиболее вероятным кандидатом для массового производства наноэлектроники следующего поколения с топологическими нормами 22-8 нм. Планируется начало ее промышленного использования с 2013–2015 года. Относясь к стратегическим технологиями, оборудование, компоненты оборудования и фоторезисты для этой литографии находится под экспортным контролем правительства США. В настоящее время в компаниях ASML (Нидерланды), Canon и Nikon (Япония) изготовлено несколько экспериментальных образцов проекционных установок. В ряде компаний, мировых лидеров микроэлектроники, начались экспериментальные исследования по разработке технологии EUV литографии.

В рамках программ РАН, грантов РФФИ и государственного контракта с РосАтом в ИФМ РАН впервые в России был создан стенд проекционного нанолитографа с рабочей длиной волны 13,5 нм с расчетным разрешением 30 нм. Изображение топологии наноструктуры с уменьшением 1:5 формируется в фоторезисте с помощью двузеркального асферического объектива. Размер засвечиваемой области на фотрезисте составляет 0,6×0,6 мм2. С помощью двухкоординатной системы сканирования рисунок может мультиплицироваться на площади 5×5 мм2. Разработан перспективный отечественный фоторезист, чувствительный в области 13,5 нм. Получены первые наноструктуры и начаты работы по оптимизации фоторезистов для области 13,5 нм.

Создание стенда продемонстрировало появление в России ключевых технологий, позволяющих разрабатывать и производить литографическое оборудование для диапазона длин волн в окрестности 13,5 нм. Данная разработка, в совокупности с другими отечественными разработками в области мощных газоразрядных источников экстремального ультрафиолетового излучения, может стать основой для отечественной программы производства компонентов наноэлектроники.

Кроме того, в 2012 году ИФМ РАН среди важнейших завершённых исследований указывает следующее.

Для создания стендов нанолитографии следующего поколения с пространственным разрешением до 8 нм предложены многослойные зеркала на основе La/B (La/B4C) для спектральной области вблизи 6.7 нм. Синтезированы La/B4C/C зеркала нормального падения со сверхтонкими углеродными барьерными слоями с рекордным коэффициентом отражения 58.6%, что позволяет начать разработку многозеркальных схем нанолитографов с рабочей длиной волны излучения 6.7 нм.

  • 1
    Green-world Green-world
    14.11.1305:36:53
    Такие технологии не могут не радовать простых русских инженеров. Надеемся скоро увидеть продукцию в "железе"
    Отредактировано: Green-world~05:37 14.11.13
  • 1
    Борис Ташлыков Борис Ташлыков
    14.11.1308:01:52
    Кхм.
    Статья от 2011!!! года.
    • 2
      Нет аватара Nother
      14.11.1309:22:54
      Это ничего, ибо такие дела быстро не делаются. Важно и отрадно, что отечественная наука не просто не стоит на месте, но и стремительно догоняет с перспективой вовсе обогнать зарубежных конкурентов.
      • 2
        Нет аватара eugene771
        14.11.1310:06:52
        Нация торгашей уже к нам попрела(англосаксы), раз наши ученые перестали к ним ехать, то они пытаются выехать через совместные проекты, чтобы все ранво затем украсть и ученых переманить. Их вообще в Россию пускать нельзя.
  • 6
    Нет аватара johnsib
    14.11.1312:54:52
    я немного уточню сложность задачи. То что удалось засветить область в 0.6*0.6 мм2 это хорошо. Самое сложное это проецировать эти точки на площадь кристалла. То есть как дело происходит: все вы знаете что кристал вырезают из кремниевой "сосули" круглыми листами


    У нас нет технологий (хорошо отработанных) по полировке этого листа и его распилу на матричные еденицы - непосредственные "квадратики процессоров(это если упрощенно)


    А прежде чем распилить на части подложку, на нее нужно спроецировать эти области по 0.6 на 0.6 мм! А для этого нужен позиционный стол - тот самый который с такой же точностью в 20-30 нм позиционирует пластину под лучем проецирования. Это сверх точные электронные приводы с шагом в 5-10 нм. У нас пока таких столов не умеют делать, но скоро научаться. Я думаю вы понимаете что он, стол, не на роликах/подшипниках должен стоять, он должен либо висеть на магнитном излучении либо на какой-то позиционно магнитной жидкости...

    Но проблема еще и в том, что схема для более высокой эффективности использования уплотняется схемой растущей не только "в ширь" но и "вверх". То есть схема может быть 2х и 3х-слойной. А для этого после первого прохода излучения нужно смыть лишнее, оголить контакты, вновь залить все, потом снова нанести поверх проводящий материал, снова нанести изоляцию и снова прожечь дорожки схемы


    Для этого нужны некие ванны с определенной жидкостью, сушки, уф осушители и прочее..потом опять поместить на стол и так раза 4-е. Точность стола - ЭТО ГЛАВНОЕ СЛАБОЕ место сейчас в нашей микроэлектронике!!

    Резюмирую. Сам стенд излучателя это 30% от всей необходимой технологии фотолитографии и изготовления микропроцессора. Нужны еще "жидкости", "столы", полировочные столы, станки для резки готовой подложки. Это сверх микро точные образивные материалы(пилы). Потом выбраковка.

    Замечу, что даже в интеловских процессорах брак при распиле, нанесении и после тестирования достигает 10-20% с подложки!!

    Именно поэтому эта новость лишь этап сложной борьбы за микроэлектронику в России.
    Отредактировано: johnsib~12:56 14.11.13
    • 3
      Нет аватара gaws
      14.11.1313:28:54
      Знаете, я был год-два назад на конференции, как раз что-то типа "Будущее микроэлектроники в России", сидел рядом с этими дядьками из РАН, которые очень авторитетно заявляли, что есть у нас технологии и на 60 нм, и на 28 нм, и на 8 нм можно сделать (и вот уже). А напротив сидел суровый такой директор Микрона и говорит - "не будет в России никакой микроэлектроники, пока не будет внутреннего спроса на неё". Сказал, встал и ушел, "на совещание с Путиным". И поверьте мне,
      ГЛАВНОЕ СЛАБОЕ место сейчас в нашей микроэлектронике

      это именно отсутствие спроса внутри страны. Завод за $2 млрд. на авось строить никто не будет, нужны реальные, законтрактованные заказчики на сотни миллионов компонентов в год. Вы хоть счетчик электроэнергии в каждую лампочку в стране встройте - всё равно капля в море. Хотя.... может китайцы и помогут с заказами    .
      • 0
        Нет аватара johnsib
        15.11.1314:29:45
        интересно)) спрос как простимулировать - непонятно. пока заказы только в оборонку идут. а оборонке и 120 НМ устраивает - главное ведь не минитюаризация а надежность.. устойчивость к температурам, вибрациям, давлению, радиации, ЭМ излучениям.. думаю 20НМ на "Тополя" не воткнешь по соображениям адекватности))
      • 0
        MagiRus MagiRus
        16.11.1314:29:20
        это именно отсутствие спроса внутри страны

        Согласен что спрос это главное, только спрос лишь внутри страны не сможет обеспечить загруженность завода за 2 млрд $. Нужны заказы от крупных мировых игроков... А с этим ой как непросто.
      • 1
        openid.yandex.ruwow-538 wow-538
        17.08.1400:02:02

        можно продавать современные литографические машины если микроэлектронику пока продать не можем

        • 0
          Нет аватара gaws
          27.08.1409:59:36

          Если с ASML удастся скооперироваться, то возможно и получиться с литографическими системами что-то. Но, уровень компетенций (по современным меркам) у нас по таким продуктам близок к нулю. Т. е. для себя мы и сможем что-то сделать, особенно в свете санкционных событий, но на мировую арену нас вряд ли позовут.

          • 0
            Zveruga Zveruga
            27.08.1411:16:36

            На самом деле сделать можно продукт любого качества. Всё упирается лишь в деньги.

          • 0
            openid.yandex.ruwow-538 wow-538
            27.08.1418:48:09

            в Белоруссии есть предприятие изготавливающие литографы в 2015 выпустят 65−40 нм, если государство больше помогать будет можно сперва продавать институтам,потом потихоньку выходить на мировой рынок

            • 0
              Zveruga Zveruga
              27.08.1421:46:32

              Этот тот самый Планар потери которого так боялся последний министр электронной промышленности СССР.

              • 0
                openid.yandex.ruwow-538 wow-538
                28.08.1401:57:05

                да в мире он 4 производитель литографов,поставляет продукцию в Европу, в азию, конечно отставание есть, но если нормально финансировать можно догнать ASML ,у них богатый опыт производства литографов

                • 0
                  openid.yandex.ruwow-538 wow-538
                  28.08.1402:04:57

                  запад нам все равно не продаст современные литографы ,Китай через Тайвань купил современные литографы,так ему тоже не продавали ,сейчас он сам разрабатывает свои литографы

    • 0
      Нет аватара gaws
      14.11.1313:38:52
      И еще - откуда у Вас такие древние (почти наскальные) изображения микросхем?? Вот такие сейчас микроконтроллеры:
      Отредактировано: gaws~13:39 14.11.13
      • 0
        Евгений Бубнов Евгений Бубнов
        14.11.1317:39:13
        Для того, чтоб появился спрос, нужно какую-то технологию прорывную предложить. Чисто фантазируем:
        Представим, что придумают технологию изготовления по технологии 1нм и стоимостью около бесплатно... вот это будет прорыв и спрос! А если законодательно запретить вывозить без корпусов(а может и готовый продукт) то тогда начнут открывать производства у нас... Только вот какое дело. На рынке есть такие мегакиты, которые просто так не подвинуть...они сделают все, чтобы еще один такой не родился... так что, чтоб вообще это все ожило и само пошло - надо что-то делать с китами ;)
  • 1
    Kolyda Kolyda
    15.11.1304:16:32
    ...А напротив сидел суровый такой директор Микрона и говорит - "не будет в России никакой микроэлектроники, пока не будет внутреннего спроса на неё"...

    Со спросом наверное сложнее. Разработчики, в том числе и в нашей стране, ориентируются на огромное разнообразие микросхем и программного обеспечения к ним выпускаемых многими зарубежными производителями. Значит кроме самих своих "железяк" нужно еще и свое ПО и свой сервис к нему. Чтобы продать на "запад" в больших объемах надо чтобы этот комплексный продукт был УЖ очень иновационный.
Написать комментарий
Отмена
Для комментирования вам необходимо зарегистрироваться и войти на сайт,