А я не вижу в предложенном вами способе выхода. Дело в том, что в современном заводе микроэлектроники используется огромное количество высокотехнологичного оборудования. Заместить всё всё равно не получится. Просто не успеем к технологическому пределу. На носу окончание эры электроники и пробуждение эры плазмоники. Новая технология потребует нового оборудования.

Мне кажется быстрее и соответственно дешевле будет разработать принципиально новую технологию. Такую как ионно-лучевой 3Д нанопринтер. С помощью такого принтера можно будет даже фотонные микросхемы создавать. Причём на порядок дешевле чем методом ионного осаждения.

Суть американского технологического преимущества заключается не в литографах, которые они сами закупают, а в источниках излучения для этих литографов и в аппаратах выращивания тонких плёнок.

Источники излучения американцам помогли создать ещё при СССР. Тогда этому не придавали большое значение. Эксимерные лазеры (мощные лазеры с короткой длиной волны) были придуманы в СССР. А технология их создания была просто сообщена на одном из международных научных симпозиумов. Американцы умеют видеть как заработать деньги на научных открытиях и создали на основе эксимерного лазера литограф.

Кстати, американцы не переходят на рентгеновские литографы из-за того, что мы не помогаем им в этом вопросе. Точнее они отказались принять от нас помощь (в этот раз не безвозмездную). Решили, что сделают сами. Но, судя по ситуации в отрасли, пока ничего не выходит. Их источники когерентного рентгена слишком недолговечны. А их замена обходится в крупную сумму. В итоге стоимость содержания рентгеновских литографов нивелирует их преимущества и производители до сих пор используют ультрафиолетовые литографы.

Что касается установок напыления, то тут американцы уже достигли всего сами. И причём таких уровней, которые пока ни кем не достигнуты. Только корейцы приблизились к ним ближе всех.

И литографическую машину и машины выращивания плёнок, а также установки травления и легирования, можно заменить одним ионно-лучевым принтером. Так дешевле и быстрее производить. Можно будет отказаться от измерений на промежуточных этапах производства. Да и наноразмеры порядка единиц достигать проще, чем с помощью фотошаблонов применяемых в современных литографах. Ионно-лучевая технология позволяет напылять, легировать, травить и экспонировать в одной универсальной установке. Нужно всего лишь создать многолучевую магнитооптическую систему управления, на подобии той, которую создали для электронно-лучевых литографов Маппер. Ключевая технология создания такой системы у нас есть, дело за созданием всего остального.

p. s. я никак не связан с властью или электронной промышленностью. Я просто любознательный.