стань автором. присоединяйся к сообществу!
Добавить новость можно всем, без премодерации, только регистрация
Лого Сделано у нас
36
termometrix 30 августа 2019, 20:10 71 Наука

Экспериментальные установки ИЯФ им. Будкера в Новосибирске для рентгеновской литографии

@sdelanounas_ru

Экспериментальная станция «LIGA»

 © ssrc.inp.nsk.su

НАЗНАЧЕНИЕ СТАНЦИИ.

а) рентгеновская литография в толстых резистивных слоях для изготовления микроструктур в т. ч. рентгеношаблонов;

б) экспонирование интенсивным пучком СИ образцов большой площади для методических исследований модификации веществ облучением.

читать полностью
Источник: ssrc.inp.nsk.su

Поделись позитивом в своих соцсетях


наука, перспективные разработки, ИЯФ
все комментарии
  • 2
    Нет аватара termometrix
    31.08.1900:18:25

     © nuclphys.sinp.msu.ru

    Изменение физических свойств материалов (преимущественно твердых тел) в результате облучения послужило основой для нескольких практических применений. Они включают ионную имплантацию (на ускорителях ионов), легирование полупроводников с помощью ядерных реакций (под действием тепловых нейтронов), модифицирование полупроводниковых материалов и изделий, изготовление полимерных мембран и резисторов для литографии, изменение окраски стекла и кристаллов, тепловое действие мощных электронных пучков и др.

    Рентгеновское излучение и электронные пучки находят применение в литографии, обеспечивая высокое разрешение (до ~0.1 мкм) при изготовлении кремниевых интегральных схем. В качестве резистов при использовании ионизирующего излучения выступают полимеры, имеющие высокие радиационно-химические выходы сшивания или деструкции. Полимеры, которые сшиваются при облучении, являются негативными резистами. Радиационно деструктирующиеся полимеры ведут себя как позитивные резисты.

    Облучение электронами полупроводниковых устройств (например, мощных диодов и тиристоров) сравнительно большими дозами улучшает их быстродействие и другие эксплуатационные характеристики, что достаточно широко используется на практике. Сфокусированные электронные пучки способны нагревать облучаемые объекты до высоких температур. Такие пучки могут быть использованы для плавления, испарения, резки и сварки различных материалов. Электронное излучение находит применение для высокотемпературного синтеза материалов типа портланд-цемента, алюмината натрия, ферритов бария и стронция, молибдата свинца и т. п. Одновременное радиационное и тепловое воздействие может привести к протеканию реакции с большей скоростью, с более высоким выходом и при более низкой температуре.

    Отредактировано: termometrix~00:22 31.08.19
    #1153839 ↑
Написать комментарий
Отмена
Для комментирования вам необходимо зарегистрироваться и войти на сайт,