В 2026 году стартует разработка первого российского литографа для производства микросхем по технологии 90 нанометров. Об этом стало известно в конце марта из выступления заместителя министра промышленности России. Сейчас в стране готов свой 350-нм литограф и завершаются работы над 130-нм отечественной машиной.

Российская микроэлектронная отрасль продолжает начатый в 2022 году процесс реального импортозамещения в сфере литографического оборудования. в 2026 году стартуют работы по третьей модели собственного литографа — теперь уже на 90 нанометров.

В течение 2-3 лет у нас будут свои 90 нм. Для чего используется сейчас такой техпроцесс? Технология 90 нм в 2026 году используется для производства широкого спектра надежных микросхем, не требующих экстремальной производительности, включая чипы для интернета вещей (IoT), автоэлектроники, RFID-меток, SIM-карт, контроллеров управления питанием и датчиков. Хорошо всё это делать на полностью своем оборудовании, к чему собственно и движемся.

Головным разработчиком российских литографов является Зеленоградский нанотехнологический центр (ЗНТЦ). В марте 2026 года его генеральный директор Анатолий Ковалев рассказал, что сейчас главными задачами являются: освоение полного цикла фотолитографии без импортного оборудования; снижение себестоимости и технологических рисков при производстве микросхем в РФ и создание платформы для последующего масштабирования до 90 нм. Также он привел данные, что у ЗНТЦ заключено уже два контракта на поставку новых машин, и в настоящий момент ведется отработка базовых технологических процессов с заказчиками.

В ряде российских ИТ-изданий еще в конце 2025 года появлялись сведения о стоимости 350-нм серийного отечественного литографа, это вполне реалистичные цифры — около 480 миллионов рублей. Стоимость наших литографов, которые создаются уже при наличии аналогичных и известных технологий за рубежом, когда не нужно проходить всё «с нуля», не будет заоблачной. Поэтому даже при относительно небольшом (в сравнении с теми же США или Китаем) финансировании всё будет доступно для своих заказчиков. Главное, чтобы финансирование было стабильным, а в отрасли не появился очередной «влиятельный инвестор» типа признанного 23 марта 2026 года экстремистом Галицкого.

Текущие новости о дальнейшем развитии разработки российских технологий теперь уже для 90-нм литографов позволяют со сдержанным оптимизмом говорить, что в районе 2030 года у нас будут в работе уже установки на 65 нм и 28 нм. Разумеется, между опытными образцами и серийными изделиями есть еще дополнительные временные рамки. Поэтому не будем бежать впереди паровоза с сенсационными заголовками. Главное, что технологии создаются, и разработка собственного оборудования для выпуска российской микроэлектроники постепенно оживает.

Иван Захаров, использовано фото ЗНТЦ