стань автором. присоединяйся к сообществу!
Лого Сделано у нас
36
termometrix 30 августа 2019, 20:10 72

Экспериментальные установки ИЯФ им. Будкера в Новосибирске для рентгеновской литографии

@sdelanounas_ru

Экспериментальная станция «LIGA»

 © ssrc.inp.nsk.su

НАЗНАЧЕНИЕ СТАНЦИИ.

а) рентгеновская литография в толстых резистивных слоях для изготовления микроструктур в т. ч. рентгеношаблонов;

б) экспонирование интенсивным пучком СИ образцов большой площади для методических исследований модификации веществ облучением.

читать полностью

Источник: ssrc.inp.nsk.su

Поделись позитивом в своих соцсетях

  • 2
    Нет аватара Захарка
    30.08.1923:52:15

    Я правильно понимаю — речь идет о проекте безмасочной литографии, над которой в своё время бились голландцы из Mapper Lithography?

    • 2
      Нет аватара termometrix
      31.08.1900:18:13

      Немножко другое.

    • 1
      Нет аватара termometrix
      31.08.1922:50:53

      29.01.2019 г. ASML takes over Mapper Lithography after the bankruptcy

      К сожалению Марреп банкрот,но была спасена.От АСМЛ,тоже голландская компания,мировой лидер по производству литографов.

Написать комментарий
Отмена
Для комментирования вам необходимо зарегистрироваться и войти на сайт,