MAX
Подпишись
стань автором. присоединяйся к сообществу!
30 августа 176
35

Экспериментальные установки ИЯФ им. Будкера в Новосибирске для рентгеновской литографии

Экспериментальная станция «LIGA»

 © ssrc.inp.nsk.su

НАЗНАЧЕНИЕ СТАНЦИИ.

а) рентгеновская литография в толстых резистивных слоях для изготовления микроструктур в т. ч. рентгеношаблонов;

б) экспонирование интенсивным пучком СИ образцов большой площади для методических исследований модификации веществ облучением.

[читать статью полностью...]

Кстати, а вы знали, что на «Сделано у нас» статьи публикуют посетители, такие же как и вы? И никакой премодерации, согласований и разрешений! Любой может добавить новость. А лучшие попадут в наш Телеграм @sdelanounas_ru. Подробнее о том как работает наш сайт здесь👈

Источник: ssrc.inp.nsk.su

Комментарии 0

Для комментирования необходимо войти на сайт

  • 2
    Нет аватара Захарка30.08.19 23:52:15

    Я правильно понимаю — речь идет о проекте безмасочной литографии, над которой в своё время бились голландцы из Mapper Lithography?

    • 2
      Нет аватара termometrix31.08.19 00:18:13

      Немножко другое.

    • 1
      Нет аватара termometrix31.08.19 22:50:53

      29.01.2019 г. ASML takes over Mapper Lithography after the bankruptcy

      К сожалению Марреп банкрот,но была спасена.От АСМЛ,тоже голландская компания,мировой лидер по производству литографов.