В СПбПУ создали установку вакуумного магнетронного нанесения тончайших покрытий

 © nauka.tass.ru

Специалисты научного центра мирового уровня «Передовые цифровые технологии» Санкт-Петербургского политехнического университета Петра Великого (НЦМУ СПбПУ) создали отечественную импортозамещающую установку вакуумного магнетронного осаждения. Установка позволит наносить самые тончайшие покрытия из различных материалов путем распыления атомов.

Лабораторная установка, разработанная инженерами НЦМУ СПбПУ, предназначена для осаждения различных материалов на подложки кремния, карбида кремния, алмаза, кварца путем распыления атомов мишени. Основное назначение новой установки — осаждение металлов заданной толщины от 10 нм до десятков мкм на подложки, которые используются в полупроводниковой промышленности.

Изделия, полученные путем вакуумного магнетронного осаждения, используются во многих отраслях, например, в качестве маскирующего материала или проводящего/ диэлектрического материала в микроэлектронике, оптоэлектронике, фотовольтаике при создании защитных и декоративных покрытий, а также инструментов различного назначения: от автомобилестроения до медицины.

В процессе магнетронного осаждения ключевую роль играет так называемая мишень, которая является источником материала для покрытия. При подаче напряжения на магнитную систему в магнетроне и потоке инертного газа генерируется плазма за счет столкновения электронов с молекулами газа. Это приводит к образованию ионов, которые выбивают атомы материала мишени, а те осаждаются на поверхности объекта, образуя тончайший слой.

«Наша установка может заменить широко используемые комплексы иностранного производства. Также с ее помощью можно модернизировать оборудование на мелкосерийных предприятиях, которое эксплуатируется еще с советского периода, в очень короткие сроки: 3-4 месяца при поставке базового вакуумного магнетрона и 9 месяцев в случае разработки магнетрона под более сложные требования», — рассказал заведующий лабораторией «Технологии материалов и изделий электронной техники» Артем Осипов.

Магнетрон позволяет распылять не только широко используемые ферромагнитные металлы, например, никель. Способность установки использовать мишени как с косвенным, так и с прямым охлаждением дает возможность работать и с такими материалами мишени как индий-олово, оксид которого используется при создании солнечных элементов в качестве просветляющих покрытий и в приложениях, где нужны прозрачные проводящие контакты. Установка будет представлена на IV Конгрессе молодых ученых в Сириусе — ключевом событии 2024 года в рамках Десятилетия науки и технологий.

Кстати, а вы знали, что на «Сделано у нас» статьи публикуют посетители, такие же как и вы? И никакой премодерации, согласований и разрешений! Любой может добавить новость. А лучшие попадут в телеграмм @sdelanounas_ru. Подробнее о том как работает наш сайт здесь👈