Ученые предприятия Холдинга «Швабе» модернизировали процесс изготовления меза-элементов матрицы фотоприемных устройств (МФПУ).

Сегодня новая технология используется при выполнении опытно-конструкторских работ предприятия в области изготовления матриц фотоприемных устройств (МФПУ) ультрафиолетового и ближнего инфракрасного диапазонов спектра, в том числе матриц мегапиксельного формата.

Результаты научного эксперимента ученые опубликовали в статье «Ионно-лучевое травление для формирования мезаструктур МФПУ» в журнале «Прикладная физика».

Государственный научный центр РФ АО «НПО «Орион» — это ведущая организация России в области развития фотоэлектроники. Разработанные на его базе устройства и компоненты широко применяются в ядерной энергетике, космической отрасли, нефтегазовом секторе, медицине и других областях. Деятельность предприятия относится к приоритетным направлениям развития науки, технологий и техники в Российской Федерации.

Специалисты предприятия Холдинга «Швабе» — ГНЦ РФ АО «НПО «Орион» разработали технологию для изготовления элементов матрицы в новом качестве. В составе авторов проекта — начальник участка Михаил Седнев, начальник научно-технического комплекса Константин Болтарь, а также ведущий инженер Юрий Шаронов и начальник участка Алексей Лопухин.

В своем исследовании специалисты проанализировали процессы формирования меза-элементов матрицы методом жидкостного травления и травления ионами интерного газа. Процесс представляет собой превращение плоской слоистой полупроводниковой пластины в массив меза-элементов матрицы, разделенных узкими областями (канавками) на необходимую глубину.

«Перед нами стояла задача — усовершенствовать процесс изготовления меза-элементов, из которых состоят матрицы фотоприемного устройства — это одно из важных направлений микрофотоэлектроники. В настоящее время разработка внедрена в производство современных матриц фоточувствительных элементов с шагом 30 мкм и матриц мегапиксельного формата, что соответствует последним тенденциям развития отрасли», — прокомментировал специалист ГНЦ РФ АО «НПО «Орион».

Сотрудники «Швабе» исследовали структуры с плоской поверхностью и с островками напыленной метализации. Анализ неровностей и шероховатостей осуществлялся на специальных приборах — конфокальном и контактном профилометрах. В результате ученые установили, что именно сочетание ионного и жидкостного травления позволяет получать приемлемые результаты при создании мезаструктур МФПУ.