Установка фотолитографии НИИПМ г. Воронеж
Следи за успехами России в Телеграм @sdelanounas_ru
© vniipm.ru
Для фотолитографических процессов был разработан модульно-кластерный комплекс субмикронной литографии (КФЛ). Уникальность данной установки состоит в том, что все виды фотолитографической обработки объединены единым транспортным устройством в виде робота-манипулятора. Подобные решения в области автоматизации технического процесса были в дальнейшем применены в разработке автоматизированного комплекса для сборки и испытаний солнечных батарей.
Источник: http://vniipm.ru/ru/
04.09.1910:29:32