Для фотолитографических процессов был разработан модульно-кластерный комплекс субмикронной литографии (КФЛ). Уникальность данной установки состоит в том, что все виды фотолитографической обработки объединены единым транспортным устройством в виде робота-манипулятора. Подобные решения в области автоматизации технического процесса были в дальнейшем применены в разработке автоматизированного комплекса для сборки и испытаний солнечных батарей.
Так же в области фотолитографии была разработана и произведена для заказчика установка формирования фоторезистивных пленок «УФП-100М». Особенностью данного оборудования состоит в том, что загрузка пластин из кассеты осуществляется автоматически транспортной системой с последующим переносом пластин с позиции на позицию. Очистка пластин осуществляется применением мегазвука. Термостабилизации пластин осуществляется как на холодной так и на горячей плите.
Для плазмохимических процессов спроектирован автомат скоростного плазмохимического травления «ПЛАЗМА-150». Здесь происходит травление пленок SiO2, ACC, поли-Si, Si3N4 через фоторезистивную маску. Данная установка позволяет получать минимальный размер топологического рисунка до 0,6 мкм. Система оснащена микропроцессорным контролем параметров технологического процесса, автоматическим контролем давления, расхода газа, ВЧ-мощности. Частота используемого генератора составляет 13,56 МГц, а диаметр обрабатываемых пластин — 100 и 150 мм.
В 2012 году для нано-технологического центра МИЭТ был разработан полуавтомат плазмохимического удаления фоторезистивных масок в технологии производства изделий электронной техники и МЭМС, после формирования топологического рисунка на пластинах диаметром 100, 150 мм — «ПЛАЗМА-150МТ». В состав установки входят реактор с системой возбуждения плазмы и устройством предварительного разогрева обрабатываемых пластин. Вакуумная система установки спроектирована на основе использования сухого безмасляного механического насоса. Система управления установкой реализована на основе двухуровневой системы управления.
Кстати, а вы знали, что на «Сделано у нас» статьи публикуют посетители, такие же как и вы? И никакой премодерации, согласований и разрешений! Любой может добавить новость. А лучшие попадут в наш Телеграм @sdelanounas_ru. Подробнее о том как работает наш сайт здесь👈
Другие публикации по теме
- Модернизация линии поверхностного монтажаНа производстве Геоскана (уча...а, осуществить контроль и отдать на следующие этапы производства.
- Ученые МФТИ, МГУ, МИСИС и ВНИИА имени Духова совместно с коллегам...превзойти имеющиеся разработки по скорости и энергоэффективности.
- Всего было продано 332 млн товаров, среди которых 106,2 млн брендов из ...риоду прошлого года на 70% (абсолютное количество не приводится).
Поделись позитивом в своих соцсетях




Jub03.09.19 17:29:43Jub03.09.19 18:10:00Jub03.09.19 19:41:43