В Москве запустили первое в России серийное производство электростатических столов для работы с пластинами при изготовлении микросхем, чипов и процессоров. Устройство предназначено для использования в вакуумных технологических установках.

Главная особенность разработки — бесконтактное удержание пластин с помощью электростатического поля. Это позволяет отказаться от механического прижима и снизить риск появления повреждений или загрязнений на чувствительной поверхности.

Столы будут использовать как в составе собственного оборудования производителя, так и поставлять отдельно для интеграции в уже работающие технологические линии по всей стране.

Проект реализовали при содействии Московского фонда поддержки промышленности и предпринимательства. Серийный выпуск должен расширить локальное производство компонентов для микроэлектронного оборудования.