стань автором. присоединяйся к сообществу!
Лого Сделано у нас
74

РОСНАНО инвестирует в безмасочную литографию с разрешением до 10 нм

РОСНАНО и MAPPER Lithography, голландская компания-разработчик систем безмасочной литографии, объявляют о начале инвестиций в производство инновационного литографического оборудования. Общая сумма сделки составляет €80 млн, доля РОСНАНО — €40 млн. Такую же сумму вкладывают акционеры MAPPER, — инвестиционные компании ADP Industries, Parcom Capital (Parc-IT) и Hoving & Partners, технологические компании Technolution и DEMCON, ряд частных инвесторов и семейных инвестиционных фондов, а также Агентство Нидерландов при министерстве экономики, сельского хозяйства и инноваций. Существенная часть инвестиций РОСНАНО будет направлена на создание в России производства ключевого компонента литографических систем MAPPER.

Компания MAPPER Lithography, основанная в Делфтском техническом университете, разрабатывает литографическое оборудование нового поколения на основе технологии множественных электронных лучей (multiple e-beam), позволяющей обойтись без дорогостоящих литографических масок. Технология MAPPER сочетает ранее практически недостижимую разрешающую способность (22 нм и выше) с высокой производительностью, позволяя обрабатывать до 100 кремниевых подложек в час.

Инвестиции позволят компании MAPPER выпустить несколько поколений оборудования Matrix. Модель Matrix 1.1, намеченная к выпуску в 2012 году, использует более 1300 электронных лучей и обрабатывает одну подложку в час. Модель Matrix 10.1, использующая 13 260 электронных лучей, обладает производительностью 10 подложек в час. Кластерная система Matrix 10.10, состоящая из десяти установок Matrix 10.1, способна обрабатывать 100 подложек в час, что соответствует требованиям массового производства микросхем. В рамках инвестиционного проекта производственные мощности MAPPER будут расширены до 20 литографических машин в год.

В России планируется создать предприятие по выпуску электронной оптики на основе микроэлектромеханических систем (МЭМС) — ключевого компонента оборудования MAPPER. Производство требует использования уникальных технологий в области МЭМС. Мощность российского предприятия составит до 20 систем электронной оптики в год, каждая из которых способна управлять 13 260 параллельными электронными лучами. Проект ориентирован на сотрудничество с ведущими российскими профильными исследовательскими институтами.

читать полностью

Вступай в наши группы и добавляй нас в друзья :)


Поделись позитивом в своих соцсетях

Другие публикации по теме


  • 0
    Нет аватара viper1971
    31.08.1210:17:47
    Вроде бы в статье речь о безмасочной технологии как раз?
    • 0
      Toliamba Toliamba
      31.08.1211:25:54
      Даже в безмасочной технологии не выжигают а экспонируют ( рисуют на фоторезисте ) но не все за раз а последовательно, а комментарий относился к изображению кремниевого диска на котором изготовлено множество СБИС, которые безмасочным методом серийно не производят.
Написать комментарий
Отмена
Для комментирования вам необходимо зарегистрироваться и войти на сайт,