Для фотолитографических процессов был разработан модульно-кластерный комплекс субмикронной литографии (КФЛ). Уникальность данной установки состоит в том, что все виды фотолитографической обработки объединены единым транспортным устройством в виде робота-манипулятора. Подобные решения в области автоматизации технического процесса были в дальнейшем применены в разработке автоматизированного комплекса для сборки и испытаний солнечных батарей.
Кстати, а вы знали, что на «Сделано у нас» статьи публикуют посетители, такие же как и вы? И никакой премодерации, согласований и разрешений! Любой может добавить новость. А лучшие попадут в наш Телеграм @sdelanounas_ru. Подробнее о том как работает наш сайт здесь👈
Другие публикации по теме
- Советник гендиректора Росатома Руслан Юнусов дал интервью корреспонденту ТА... том, смотря какие 30 ионов у вас и смотря какие 100 атомов.
- Переключатель между пространственными каналами на чипе квантового проц...чая мощность — -80 дБм. Об этом сообщила пресс-служба вуза.
- В одной из лабораторий в Московской области специалист тести...система и где ее используют, рассказываем в нашем материале.
Поделись позитивом в своих соцсетях

Jub03.09.19 18:10:00Jub03.09.19 19:41:43