http://community.sk.ru/ne...1320_-svet-progressa.aspx 

Жидкое олово как источник ЭУФ излучения

А. Фертман: «Я бы начал с технологии работы с жидким оловом в источниках экстремального ультрафиолетового излучения для литографии. Литография – планарная технология, заключающаяся в формировании в активночувствительном слое, нанесенном на поверхность подложек, рельефного рисунка и последующего переноса этого рисунка на подложки. Применяется при изготовлении полупроводниковых приборов, интегральных микросхем, а также некоторых сверхпроводниковых наноструктур. Развитие методов проекционной литографии, повышение производительности и разрешающей способности печатающих устройств являются ключевыми направлениями наноиндустрии.

Продолжая развивать основное направление современной проекционной литографии с использованием лазерного излучения на длине волны 193 нм, пионеры индустрии (ASML, Intel, Canon и ряд других) уделяют огромное внимание развитию следующего поколения проекционной литографии с использованием излучения с длиной волны 13,5 нм (Extreme Ultra Violet литография, EUV). Переход в область EUV позволит перейти к разрешениям 22 и менее нанометров, с перспективой достижения разрешения в 16 нм в будущем. Компании-производители литографических машин уже взяли на себя целый ряд обязательств по выпуску установок нового типа.
Ключевая технологическая проблема, которую производителям литографических машин необходимо при этом преодолеть, это источник излучения. Дело в том, что для столь малых размеров необходимо «уйти», сместиться в другую часть спектра (глубокий или экстремальный ультрафиолет) и одной из возможностей является использование излучения атомов олова. Однако при этом необходимо в качестве электродов в разряде применять струи жидкого олова, формирование которых является нетривиальной задачей. Команда компании «ЭУФ-Лабс» во главе с Константином Кошелевым, давно сотрудничает с ASML и активно ведет разработку нового источника излучения. Однако в рамках Сколковского проекта изменился формат работы вместо исследовательских контрактов в результате выполнения которых вся интеллектуальная собственность переходила к заказчику, в данном случае ЭУФ-Лабс получил техническое задание и «мягкие обязательства» по приобретению технологии в случае успеха проекта. А финансирование работ обеспечивают Троицкий наноцентр и Фонд «Сколково». Создание насоса для прокачки жидкого металла было важной инженерной задачей для обеспечения бесперебойной работы источника. Но когда голландцы увидели этот насос в действии, тут же выяснилось, что он является отдельным перспективным продуктом. Интересно, что эта исследовательская команда добилась столь востребованного для ASML результата в основном благодаря своей профессиональной квалификации, а также определенной производственной культуре, которую российская компания внедрила у себя.
----------------------------------
Фемтосекундные лазеры высокой средней мощности для промышленных применений.

Фемтосекундные (продолжительность импульса равна 10 в минус 15-й степени секунды) лазеры уже достаточно активно используются в мире, в том числе и в России. При обработке материалов, в том числе и биотканей, использование сверхкоротких лазерных импульсов, по сравнению с другими типами лазеров, обеспечивает отсутствие теплового воздействия на материал, при этом достигается прецизионно малый «вынос» материала за один лазерный импульс. Такие лазеры находят себе применение, прежде всего в медицине, в частности в офтальмологии, например, один из наших участников компания «Лазер-Спарк» разрабатывает фемтосекундный лазер, чтобы на регулярной основе использовать его для «подрезки» мышцы глаза при офтальмологических операциях.

Развитие коротко-импульсных лазеров происходит сейчас в таком направлении, что они будут постепенно вытеснять длинно-импульсные лазеры с различных рынков и станут широко востребованы, в частности в машиностроении для разного типа обработки материалов. Для промышленного применения необходимо достичь высокого значения средней мощности. Дело в том, что в импульсе (который по определению короткий) содержится огромная пиковая мощность. Но для промышленного применения нужно постоянно поддерживать высокую среднюю мощность. Это позволит использовать прибор, как говорится, в реальном масштабе.

В этом году ядерный кластер получил поддержку от Консультативного научного совета «Сколково», который рекомендовал Фонду поддержать центр прикладных исследований по лазерно-плазменному ускорению. В рамках этого центра фемтосекундные лазеры высокой и средней мощности будут важнейшим элементом новых диагностических систем. Речь идет о создании и использовании компактных мощных рентгеновских источников для медицины, фармацевтики и промышленности.

Сегодня стоимость источников высокой мощности синхротронного излучения (испускаемого заряженными частицами, которые движутся по круговой орбите в электромагнитном поле со скоростями близкими к скорости света) может составлять более миллиарда долларов. Компании, например, фармацевтические, вынуждены подолгу ждать доступа к ним и практически не могут использовать их в повседневных исследованиях. Все эти источники являются государственными, и по правилам они не могут эксплуатироваться в интересах коммерческих структур более чем на 10 процентов. Поэтому одним из перспективных направлений является создание более экономичных и компактных источников рентгеновского излучения. Помимо медицинского применения, в частности для диагностики, они могут в будущем пригодиться и в атомной энергетике, в системах трансмутации радиоактивных отходов».

1.4.2014 10:23
Троицкая компания СВД.Спарк – технологическая компания, которая разрабатывает продукцию на основе искусственных алмазов – получила грант Фонда «Сколково» в размере 20 млн. рублей на реализацию проекта по коммерциализации технологии производства алмазных пластин методом CVD.

Обладая базовой технологией роста и обработки алмазов, компания создаёт на их основе технологию производства продукции следующего этапа технологической цепочки – алмазную оптику, детекторы ионизационных излучений, резцы для бурового инструмента.

По словам директора компании Людмилы Поддубной, все продукты компании разрабатываются в тесной кооперации с конечными потребителями. В том числе интерес к продукции СВД.Спарк проявила голландская компания ASML – мировой лидер в производстве оборудования для микроэлектроники.

В 2013 году один из проектов компании СВД.Спарк - алмазный дозиметр - стал призером Конкурса инновационных проектов Varian Startup Challenge 2013, который проводился Фондом «Сколково» совместно с американской компанией Varian Medical Systems и Фондом инфраструктурных и образовательных программ РОСНАНО. В этом году конкурс инновационных проектов в области радиационных технологий для медицины Varian Startup Challenge 2014 также проводится на площадке Фонда «Сколково».

Алмазные детекторы компании СВД.Спарк ждут в крупнейших международных проектах CERN (Европейский Центр ядерных исследований, где находится Большой Адронный Коллайдер) и ITER (Международный экспериментальный термоядерный реактор).

Как отметил исполнительный директор Кластера ядерных технологий Игорь Караваев, «запуск проекта компании СВД.Спарк – пример удачного сотрудничества двух институтов развития – Фонда «Сколково» и ФИОП РОСНАНО, который поддержал финансирование проекта одним из наноцентров. Проект ориентирован не только на российские, но и на зарубежные рынки и уже привлек к себе внимание крупных зарубежных игроков, что для Сколково как международного проекта особенно важно».

Во время визита руководства бельгийского IMEC в Троицкий наноцентр «ТехноСпарк» был подписан контракт о разработке концепции нового Центра разработок и приложений новой электроники в Троицке.

Представить концепцию нового Центра участники рабочей группы планируют уже в августе 2013 года. За это время объединенная рабочая группа разработает концепцию создания и работы Центра на первом этапе сроком 2013–2015 гг. Будет разработана бизнес-модель Центра, определен объем необходимых инвестиций, структурированы первые пилотные проекты в кооперации с IMEC и его отраслевыми партнерами.

«IMEC — это интерфейс для глобального бизнеса по постановке задач разработчикам. Мы умеем слышать задачи и проблемы бизнеса и переводить их на язык разработчиков и находить лучших исполнителей. Наша сеть объединяет самые разные исследовательские лаборатории и специалистов в 72 странах, и мы уверены, что Россия может стать частью этой сети», — отметил Людо Деферм, исполнительный вице-президент по развитию бизнеса IMEC (Бельгия).

«Это сотрудничество с бельгийцами серьезный шаг в международную кооперацию для российских ученых и разработчиков, которые теперь смогут наравне с западными учеными включиться в задачи международного рынка R&D для таких компаний как Intel, Samsung, Philips и т.п.», — сказал Денис Ковалевич, куратор проекта, с российской стороны.

«Мы очень надеемся повторить опыт бельгийцев, и благодаря этому партнерству создать в Москве новые высокотехнологические рабочие места, поэтому мы считаем, что такие проекты нужны Москве», — отметил Константин Фокин, генеральный директор Центра инновационного развития Москвы.

Помимо Троицка, в России есть и другие научные центры в области микроэлектроники, которые также могут войти в сеть IMEC. Участники пресс-конференции выразили надежду, что на следующем шаге после пилотного проекта в Троицке площадки и филиалы нового Центра могут появиться и в других регионах России.

Представители российского инновационного бизнеса также выказали серьезную заинтересованность в партнерстве с крупнейшем в мире R&D-центром в сфере микроэлектроники и ее применений.

Руслан Титов, заместитель управляющего директора Фонда инфраструктурных и образовательных программ, отметил, что сотрудничество с IMEC вписывается в системную деятельность ФИОП по созданию центров R&D-кооперации в России в рамках деятельности созданных по инициативе Фонда наноцентров.

«Мы возлагаем большие надежды на русских разработчиков и очень рассчитываем на их исторически сильные компетенции в области плазменных, лазерных и радиационных технологий для микроэлектроники. Мы увидели сегодня в Троицке примеры реализованных проектов в области новых офтальмологических лазеров и источников экстремального ультрафиолетового излучения — и очень впечатлены уровнем разработок», — подводя итог мероприятия сказал Роже Де Кеерсмэкер, старший вице-президент по стратегическим отношениям IMEC (Бельгия).

Нанотехнологический центр «ТЕХНОСПАРК», созданный на базе научно-исследовательских и образовательных институтов города Троицка, является площадкой для запуска и развития новых технологических стартапов и многофункциональным комплексом разработки и производства изделий целого ряда инновационных отраслей экономики. Создание наноцентра на территории Троицка обусловлено высокой концентрацией в городе крупных исследовательских центров, что позволяет в сжатые сроки запускать на их основе наукоемкие опытные и мелкосерийные производства нанотехнологической продукции. Наноцентр «ТЕХНОСПАРК» — это производственный комплекс, состоящий из трех зданий общей площадью более 8,5 тысяч квадратных метров, два из которых уже введены в эксплуатацию.

По состоянию на ноябрь 2013 года в портфеле наноцентра уже более 20 запущенных стартапов. В следующем году их число должно возрасти до 40.

Основными специализациями наноцентра являются: прикладные лазерные технологии (для медицины и промышленности), новые материалы (включая углеродные и композиционные материалы, а также оптические покрытия), технологии применения искусственных алмазов, новая электроника (в том числе решения для современной потребительской электроники), а также приборостроение, промышленный дизайн, прототипирование и технологический инжиниринг.
Отличительной особенностью наноцентра «ТЕХНОСПАРК» является тесные партнерские отношения с ведущими международными компаниями и исследовательскими центрами, что позволяет с самого начала интегрировать стартапы в глобальные технологические цепочки. К примеру, источники экстремального ультрафиолетового излучения, в разработке которых принимает участие резидент наноцентра компания «ЭУФ Лабс», сейчас встраиваются в литографическое оборудование нидерландской компании ASML, чьими клиентами являются все крупнейшие мировые производители чипов, включая Intel, TSMC и GlobalFoundries. Такое оборудование позволяет преодолеть существующий сейчас технологический предел и выпускать микросхемы с топологическими нормами менее 20 нанометров.

Еще один проект наноцентра — компания «Поларус», при участии партнеров из Аризонского университета создает пикосекундные лазеры, применяемые для обработки материалов и маркировки изделий, например, корпусов смартфонов, планшетов и микрокомпьютеров. Другая компания-резидент — «СВД.Спарк», в рамках специализации в области новых материалов, разрабатывает алмазные детекторы, которые будут поставляться совместно с оборудованием для лучевой терапии американской компании Varian Medical Systems, Inc.

Помимо этого в рамках наноцентра «ТЕХНОСПАРК» создан центр промышленного дизайна, чьи специалисты обладают полным набором компетенций в области инжиниринга, моделирования и прототипирования. Один из стартапов — компания «Протостудия», специализируется в области дизайна робототехники и уже имеет успешный опыт в промышленном дизайне беспилотных летательных аппаратов малой дальности.

Информация по некоторым проектам наноцентра «ТЕХНОСПАРК»

Компания «Поларус»

Совместно с разработчиками из Университета Штата Аризона создаётся опытное производство пикосекундных лазеров на основе высокодопированного оптического волокна. Пискосекундные лазеры применяются для обработки материалов и маркировки изделий, например, корпусов смартфонов, планшетов и компьютеров.

Компания «Лазерная нанохирургия»

Базовой компетенцией команды проекта является манипулирование живыми клетками с помощью лазерного излучения. В перспективе, с развитием медицинских технологий, компания начнёт использование своих знаний для получения совместимых с донорским организмом стволовых клеток, являющих основой любой ткани и органа человека. На данном этапе коммерциализируются более простые и понятные рынку продукты, в частности, разрабатывается технология получения чистых линий генетически модифицированных мышей, а также лазерный перфоратор для повышения эффективности процедуры искусственного оплодотворения (ЭКО).

Компания «Фемтотех»

Компания нацелена на коммерциализацию технологии фемтосекундной записи волоконных брэгговских решеток и других видов модификации материалов. Продукты проекта: волоконные датчики для сенсорных систем на основе технологии фемтосекундной записи и технологический комплекс прецизионной фемтосекундной модификации материалов.

Компания «Лазерная нанохирургия»

Компания разработала эксимерную установку для отрыва сапфировых подложек в процессе производства светодиодов — реализации технологии лифт-офф. В отличие от аналогичных корейских и американских установок, система оснащена непрерывной системой мониторинга, позволяющей с высокой точностью контролировать процесс.

Технологическая компания «СВД.Спарк»

«СВД.Спарк» — технологическая компания, разрабатывающая продукцию на основе искусственных алмазов. Обладая базовой технологией — роста и обработки поли- и монокристалических алмазов из газовой фазы, компания создаёт на их основе продукцию следующих переделов — алмазную оптику, детекторы ионизационных излучений, резцы для бурового инструмента и прочее. Все продукты компании разрабатываются в тесной кооперации с конечными потребителями.

Проект «Алмазный инструмент»

Уникальное свойство алмаза — повышенная твердость и износостойкость. Эти качества делают алмаз идеальным материалом для бурового инструмента. В рамках стартапа, совместно с ИОФ РАН по заказу Буровой Компании Евразия (одной из крупнейших буровых компаний России) разрабатывается новая технология нанесения алмазного слоя на твердосплавный буровой инструмента факельным методом (плазменное осаждение поликристаллического алмаза — MPECVD метод).

Проект «Алмазный детектор»

В кооперации с Ассоциацией Медицинских Физиков России компания занимается выводом на рынок алмазного дозиметра ионизирующего излучения для использования в кабинетах лучевой и протонной терапии. Дозиметры создаются на основе искусственных алмазов, произведенных на оборудовании технологической компании «СВД.Спарк». Разработка продукции ведется совместно со специалистами Третьего Римского Университета.

Проект «Адамарк»

Проект по созданию биологических маркеров на основе люминесцирующих наноалмазов. Это новый тип флуоресцентных маркеров для биомедицинских исследований и диагностики онкологических и других заболеваний, применимых для визуализации клеточных и молекулярных мишеней, адресной доставки веществ в клетки, фототермальной терапии и оптической томографии. Проект создан при участии Центра Трансфера Технологий РАН и Института Общей Физики РАН.

Технологическая компания «Оптиспарк»

Целью технологической компании является создание в Троицком кластере производственных мощностей, компетенций и стартапов в области производства оптических элементов и нанесения тонкоплёночных покрытий вакуумным напылением, являющихся необходимой базой фотоники для направления «Прикладные лазерные применения».

Компания «Алмазная оптика»

Компания создана в ответ на запрос рынка к новым материалам для оптики мощных лазеров производства компании Trumpf, способных выдерживать повышенные нагрузки, в частности, в связи с планируемым переходом компании ASML на использование в литографическом оборудовании мощных CO2 лазеров. В компании одновременно будет решаться две задачи: разработка технологии роста крупногабаритных подложек из синтетического алмаза и разработка технологии оптической полировки алмазных подложек диаметром до 120 мм.

Компания «Дифракционная оптика»

Компания, созданная совместно со специалистами НИИ РЛ МГТУ им. Н. Э. Баумана, занимается инжинирингом и производством дифракционных и голографических оптических элементов. Продукция компании востребована, как внутри Троицкого кластера, специализирующегося на лазерных технологиях, так и вне его.

Технологическая компания «Артек Композитс»

Компания «Артек Композитс» — технологическая инжиниринговая компания, созданная совместно наноцентрами «ТЕХНОСПАРК» и «Ульяновский Центр Трансфера Технологий» для развития направления современных композитов в рамках специализации «Новые материалы».

Компания «ТопСкан»

Компания «Топскан» создана на базе разработок института кристаллографии российской академии наук (ИК РАН). Компания разрабатывает технологию роста монокристаллических зондов для решения двух основных задач-трендов отрасли сканирующих зондовых микроскопов: сверхбыстрое сканирование поверхности и сочетание двух функций, высокого морфологического разрешения и надежной электрической проводимости, в одном зонде.

Технологическая компания «Артек Электроникс»

Базовый проект компании — Международный центр новой электроники в кооперации с IMEC (Бельгия). Зарубежные партнёры технологической компании «Артек Электроникс»: ASML (Голландия), LASERTEC (Германия), NXP Semiconductors (Голландия) и другие. Бизнес-модель работы компании — заказные R&D и инжиниринговые работы по заказу крупных российских и иностранных компаний.

Компания «Альтернативная Энергетическая Компания»

Компания создана для реализации проекта в сфере систем автономного энергоснабжения на основе возобновляемых экологически чистых источников энергии. Предметом разработки является создание системы контроля и управления систем бесперебойного питания объектов с использованием альтернативных источников энергии. Разрабатываемая система контроля и управления будет использоваться для автономных систем энергоснабжения, предназначенных для энергоснабжения индивидуальных и коллективных энергопотребителей, удаленных от линий, сетей и источников централизованного электроснабжения.

Компания «РусТек»

На основе уникальной ресурсосберегающей технологии производства термоэлектрических материалов, компания создает опытно-промышленную линию для производства термоэлектрических ветвей для охлаждающих и генерирующих модулей. Опыт команды в поставке таких материалов, изготовленных традиционным методом, глобальным компаниям, позволит стартапу быстро выйти на международный рынок и занять на нем заметное место.

Центр Технологического Обеспечения «Техноспарк» (ЦТО)

Центр Технологического Обеспечения «ТЕХНОСПАРК» — инженерно-производственный комплекс, позволяющий любому резиденту нанотехнологического центра «ТЕХНОСПАРК» получить доступ к услугам по конструкторско-технологической проработке и производству продукции, оперативному изготовлению узлов и деталей, осуществлению необходимых технологических операций при выполнении опытно-конструкторских разработок в производстве высокотехнологичной продукции тиражами от единичных до малых серий.

Технологическая компания «Биоспарк»

«Биоспарк» — это первая в России биологическая лаборатория открытого типа, где можно заказать единичные или комплексные молекулярные исследования любой сложности и в срок получить качественный результат. В лаборатории также находится демонстрационный зал с оборудованием бельгийской компании Trinean, который вскоре будет расширен за счёт передовых моделей исследовательского оборудования других брендов.

Компания TEN Electronics

TEN Electronics — дизайн центр новой электроники. Разрабатывает и создаёт продукты на базе передовых технологических решений. В первую очередь это новые продукты для визуализации информации. В своих разработках TEN ориентируется на функциональность, социальную значимость и использование лучшего мирового опыта. TEN Electronics проводит опытно-конструкторские разработки для сторонних компаний в своем дизайн-центре: разрабатывает принципиальные электрические схемы, подбирает элементную базу, создает необходимое программное обеспечение, организует корпусирование и производство разрабатываемых схем и элементов, готовит необходимую техническую документацию.

Компания «Оптосистемы»

ООО «Оптосистемы» — ведущий в России производитель лазеров для медицины, науки и технологий. Продукция компании включает эксимерные, СО2 и азотные лазеры, лазеры с диодной накачкой, медицинские лазерные системы, лидары, высоковольтные источники питания и магнитометры.

Компания является единственным в России производителем офтальмологических эксимерных лазерных систем для рефракционной хирургии, а также поставляет эксимерные лазеры и высоковольтные источники питания научно-исследовательским институтам и компаниям-интеграторам технологических лазерных систем различного назначения.

ООО «Оптосистемы» разрабатывает и производит оборудование для синтеза алмазных плёнок. Сотрудничество с наноцентром «ТЕХНОСПАРК» направлено на вывод компании на новый уровень, с точки зрения масштабов производства и продаж, за счет создания эффективной инфраструктуры и значительного расширения кооперации.

Компания «Лазурит»

ООО «Лазерные технологии в медицине» — компания производящая единственный коммерчески доступный российский лазерный комплекс для урологии. Используя два вида излучателей — скальпель и коагулятор — комплекс обеспечивает эффективную контактную литотрипсию без эффекта отдачи камня и повреждения тканей. Пилотная версия сертифицирована в России, продано более 25 аппаратов. В рамках совместного проекта с «ТЕХНОСПАРК» планируется создание новой компактной модификации прибора и вывод его на зарубежный рынок с одновременным увеличением продаж в России.