Создан первый отечественный фотолитограф с разрешением 350 нм

Компания-резидент ОЭЗ «Технополис Москва» ЗНТЦ создала первый фотолитограф в России с разрешением 350 нм. Фотолитограф создавался в сотрудничестве с белорусским заводом «Планар».

Об этом на своём канале в RuTube рассказал известный техно-блоггер Максим Горшенин. Не только рассказал, но и показал, что литограф реально работает. Причем там отечественный не только литограф, но и вообще практически вся линия.

Фото 2 для публикации «электротехника и приборы: Создан первый отечественный фотолитограф с разрешением 350 нм» — © tass.ru

Конечно, правильнее фотолитограф назвать российско-белорусским. Белоруссы молодцы, у них единственных в СССР было такое производство, и они сумели его сохранить. Но так как у нас союзное государство, то есть общее отечество, то не будем усложнять. — литограф отечественный, тем более там важнейшая часть создана в России — лазер.

Сейчас во всю идет разработка следующего этапа — фотолитограф на 130 нм. По планам эта разработка должна завершиться в 2026 году.

Кстати, а вы знали, что на «Сделано у нас» статьи публикуют посетители, такие же как и вы? И никакой премодерации, согласований и разрешений! Любой может добавить новость. А лучшие попадут в наш Телеграм @sdelanounas_ru. Подробнее о том как работает наш сайт здесь👈

Источник: tass.ru

фотолитограф 350 нм Технополис Москва

Комментарии 45

Для комментирования необходимо войти на сайт

Комментарий скрыт по причине низкого рейтинга. показать

-13

вячеслав великий23.03.25 22:03:02

Так и что же мы с ним будем делать? Заказчики есть или они уже не слезут с импортного оборудования?

#1298845 ↑
- 7
  
  ~~Azimut99~~24.03.25 06:02:39
  
  Что делать? Использовать. Но это только для тех фирм, которые могут позволить себе планировать свои разработки на несколько лет вперёд. Это не только учебные заведения, но и достаточно крупные фирмы, которые в состоянии самостоятельно проектировать или по заказному проекту самостоятельно изготавливать собственные микроконтроллеры.
  Напомню, что такой литограф непосредственно изготавливается 1,5 года + до полугода пуско-наладка, что является нормой для фотолитографов.
  Недостатки литографа, с технологией 350нм конечно есть. Это меньшее количество микросхем, умещающееся на пластине и большее энергопотребление полученных чипов. Но есть и достоинства — это намного меньше убытки при простое, что удобнее при производстве опытных экземпляров, Литограф рассчитан на пластины 150-200 мм, что актуальнее, так как производство на пластинах 300 мм окупается только при производстве чипов на пол мира. У нас, как вы понимаете так не получится, да и задачи такой никогда не ставилось.
  Что касается повышенного потребления 350-нм чипов. Такое критично для питания от небольших аккумуляторов, но не столь значимо там, где потребление на десятки и сотни ватт. Также не забывайте, что 350нм литограф был разработан как ступень к разработке более актуального для промышленности 130-нм литографа.
  
  Отредактировано: Azimut99~07:05 24.03.25
  
  #1298847 ↑
3

vip-com24.03.25 04:50:01

Ещё по этой теме. От Горшенина.

#1298846 ↑
3

realserg3424.03.25 12:15:52

Прекрасная новость! Дорогу осилит идущий!

#1298862 ↑
0

vajo24.03.25 14:01:17

Так еще в мае 2024 писали, что запустили

#1298867 ↑
- 0
  
  Roman Wyrzykowski24.03.25 14:56:26
  
  Кто и где писал ?
  *****************
  Посмотрите ролик и Вам все станет ясно.
  Отличный ролик!!!
  
  Отредактировано: Roman Wyrzykowski~15:41 24.03.25
  
  #1298872 ↑
  - 0
    
    termometrix24.03.25 17:56:39
    
    Кто и где писал ?
    Вы
    https://sdelano...u/blogs/159875/
    
    #1298877 ↑
    - 4
      
      Roman Wyrzykowski24.03.25 18:18:48
      
      Да, но ключевое здесь «проходит испытания»
      Только наверное теперь был принят госкомиссией.
      
      #1298879 ↑
      - 1
        
        termometrix24.03.25 18:21:01
        
        Совершенно верно.
        
        #1298880 ↑
- 0
  
  termometrix24.03.25 18:21:47
  
  Так еще в мае 2024 писали, что запустили
  Проходил испытания.Это не означает, что он одобрен для производства.
  
  Отредактировано: termometrix~18:33 24.03.25
  
  #1298881 ↑
0

КТ83524.03.25 14:08:40

Так это опытный образец или промышленный?

Отредактировано: КТ835~14:09 24.03.25

#1298870 ↑
- 1
  
  Roman Wyrzykowski24.03.25 14:55:28
  
  Рабочий
  
  #1298871 ↑
- 0
  
  omap24.03.25 21:52:20
  
  По ГОСТ 15.101-98 это скорей экспериментальный образец.
  «Образец продукции, обладающий основными признаками намечаемой к разработке продукции, изготовляемый с целью проверки предполагаемых решений и уточнения отдельных характеристик для использования при разработке этой продукции.
  Примечание: экспериментальный образец всегда выполняется в натуральную величину и представляет собой законченное в функциональном отношении изделие, пригодное для исследовательских испытаний.»
  
  #1298888 ↑
  - 1
    
    Roman Wyrzykowski24.03.25 22:50:19
    
    В ролике говорится про двух заказчиков заинтересованных литографом — тогда нужно 1.5 года для производства и до 0.5 года для пуска у заказчика чтобы начать производство схем.
    Одновременно идет работа по установке 130 нм, которая дложна быть готова в 2026.
    
    #1298890 ↑
0

termometrix24.03.25 16:29:08

Государство также должно обратить внимание на разработку рентгеновского литографа из ИФМ РАН,НЦФМ и других центров.
Хотя рентгеновская литография будет в более ограниченных количествах, она также открывает серьезные перспективы и приоритеты для развития микроэлектроники.
https://aftersh...?q=node/1486031
https://sdelano...u/blogs/155862/

Отредактировано: termometrix~18:22 24.03.25

#1298874 ↑
4

DimaY24.03.25 16:40:13

Ролик хороший, но название не совсем удачное. В названии делается упор на литографе, но по факту речь идет о технологическом процессе 350 нм, где литограф важный, но не единственный элемент. И в мае был собран литограф, как машина, а сейчас это дополнено всем остальным. Так же обращу внимание, на важный момент. Механика Планаровская, но тут важно, что Планар это именно механика, а вот оптика там другая. В белорусском литографе на 350 нм площадь чипа, 9.4 кв.мм, то есть такой процессор, как МЦСТ R150 на нем сделать нельзя. На обсуждаемом литографе можно, даже есть очень большой запас. И характеристики белорусского литографа определялись именно оптикой и это был физический предел возможностей. У нас оптика другая, но кооперация с белоруссами абсолютно разумная и правильная на мой взгляд. Технически, использованную оптику можно поэтапно дотащить до 90 нм, и даже до 48. Но без других элементов технологического процесса это бред. Поэтому все идет абсолютно правильно с пониманием, что нужен не литограф, как красивая машинка, а нужно именно работающее производство со всеми элементами. Ну, а к концу года ждем известий о опытах с эксимерными лазерами, что уже дает большие возможности. Про источник около 10 нм, я бы пока не стал уверенно говорить.

#1298875 ↑
- 1
  
  Roman Wyrzykowski24.03.25 18:12:16
  
  И наверное только недавно ОКР был принят госкомиссией как рабочая установка и техпроцесс.
  
  #1298878 ↑
2

Clausson24.03.25 21:25:48

Ни на что не намекаю, просто захотелось вспомнить какие сроки требуются для движения вперед по техпроцессам у лидеров отрасли:
— 1997 год первые рабочие процессоры 350 нм (Intel, IBM, TSMC)
— 1998 год 250 нм (Intel)
— 1999 год 180 нм (Intel и AMD)
— 2002 год 130 нм (Intel и AMD)
— 2003 год 90 нм (Intel)
— 2006 год 65 нм (Intel)
— 2007 год 45-40 нм (Intel)
— 2010 год 32-28 нм (Intel)
— 2012 год 22-20 нм (Intel)
— 2015 год 14-16 нм (Intel)
— 2016 год 10 нм (TSMC и Samsung), а Intel далее застрял на десятке
— 2018 год 7 нм (TSMC)
— 2020 год 6 нм (TSMC)…
Мировая индустрия прошла путь от 350 до 90нм за шесть лет. Можем ли мы справиться быстрее, вот в чем вопрос. При этом в мире одновременно работало десяток крупных лабораторий с фантастически огромными бюджетами, в условиях максимального благоприятствования, но даже это не спасало компании от провалов (IBM, а потом и Intel).То есть ситуация на самом деле очень серьезная.
А догонять при этом всё равно надо. И это огромный список необходимых мероприятий по организации.

Отредактировано: Clausson~21:31 24.03.25

#1298886 ↑
- 2
  
  termometrix25.03.25 09:43:40
  
  «Мы отстали от передовых стран на 50-100 лет. Мы должны пробежать это расстояние в десять лет.Либо мы сделаем это, либо нас сомнут».
  Сталин
  
  #1298900 ↑
  - 0
    
    DimaY25.03.25 10:53:54
    
    Если Вы хотите, стать гордым отцом за месяц, то переспите с девятью женщинами.
    
    #1298904 ↑
- 2
  
  Siver6325.03.25 12:46:59
  
  А догонять при этом всё равно надо.
  Не специалист, поэтому прошу пинать не сильно …
  Догонять все равно надо, если это критическая технология, без которой невозможно самостоятельное развитие важных отраслей промышленности в условиях изоляции.
  Если технология критическая (оборона, безопасность и т. д.), то надо ее развивать не взирая на затраты.
  Если технология не критическая, то ее развитие должно быть экономически эффективным.
  
  #1298913 ↑
  - 1
    
    DimaY25.03.25 13:21:16
    
    Производство микросхем не имеет такого четкого деления. С одной стороны процессоры нужны военным и для космоса, для спецсвязи и это критические отрасли. Но там количество изделий не так уж велико. А вот развитие этой отрасли возможно только при массовом производстве, где действуют обычные законы рыночной конкуренции. Путь развития микроэлектроники только для критичных отраслей показал свою полную несостоятельность, высокая стоимость микросхем, при малом тираже, очень медленное развитие, потому что мало специалистов в этой отрасли. Сейчас приходится наверстывать и делать это нерыночными методами, с тем чтобы при достижении определенного уровня развития, сделать отрасль рентабельной, что попутно обеспечит и решение задач в критических секторах.
    
    #1298915 ↑
    - 2
      
      Roman Wyrzykowski25.03.25 13:43:44
      
      Критических применении на самом деле не так мало — больше чем Вы написали, но есть самая важная — оборонка и все что с ней связано.
      Подумайте что бы было если бы не было Китая и только запад мог бы быть поставщиком чипов — как было при СССР ?
      Микроэлектроника это критическая технология номер 1
      в современном мире.
      
      #1298919 ↑
      - 1
        
        DimaY25.03.25 14:09:01
        
        Я не спорю, но я немного в другой плоскости рассматриваю проблему. Критических отраслей много в том числе энергетика, управление транспортом, медицина, контрольно-измерительная аппаратура и т. д. Но в этих отраслях единиц конкретного изделия не так много, а номенклатура огромна. И если работать только на них то это будет дорого и крайне не эффективно. И чтобы отрасль была развита нужен развитый массовый сектор крупносерийной продукции. В области специальных изделий стоимость зачастую определяется не себестоимостью изготовления, а стоимостью разработки. Если в стране будет массовый сектор бытовой электроники, то и для критических областей будет элементная база по разумной стоимости. Ну кроме совсем уж экзотических элементов. Но даже для экзотических микросхем наличие собственной производственной базы со специалистами и технологическим сервисом все будет гораздо проще.
        
        #1298920 ↑
        
        1
        
        Roman Wyrzykowski25.03.25 15:11:04
        
        Производство микроэлектроники это по сути как инфраструктура — она редко когда прибыльная, но без нее государства нет.
        Китай тоже сильно поддерживает производство микроэлектроники различными способами — и так потом на этом выигрывает, но госудадарство не жалеет денег.
        
        #1298925 ↑
        
        1
        
        termometrix25.03.25 16:17:21
        
        Согласен полсностью.Так должно быть в принципе!
        
        #1298929 ↑
        
        0
        
        DimaY25.03.25 16:32:23
        
        Вот тут категорически не соглашусь. Инфраструктура и её развитие это очень выгодно для государства, просто там прибыль по другому считается. Например прибыль от строящегося моста через Лену около Якутска уже посчитана и она колоссальна, хотя проезд через мост будет бесплатным. С электроникой с одной стороны это важная часть инфраструктуры, но это и обычный товар, который может иметь вполне рыночную составляющую с привлечением в том числе не только якорных инвесторов, но и миноритарных акционеров. Если мы посмотрим даже на наш рынок, то есть пример компании Бештау, которая производит конечные электронные устройства например мониторы, она успешна как коммерческая организация, хотя на данный момент использует рассыпуху компонентов импортную, но при возможности может перейти на российское или часть компонентов производить сама. Возьмем GS-групп, которая сама корпусирует микросхемы, но пока не делает вафли, она успешна как коммерческая организация. Другое дело, что долгое время для российских компаний литографы были фактически недоступны. Своих не было, а импортные или дорого или низя. Да и протекционизма со стороны государства не было. Но в целом это можно и нужно исправить, в том числе оказав поддержку и дав стартовый толчок. Посмотрите на то, что с сельхоз техникой происходит. Но конечно процесс не произойдет за полгода. На это надо время и упорство. Но я смотрю на ситуацию с оптимизмом.
        
        Отредактировано: DimaY~16:33 25.03.25
        
        #1298932 ↑
        
        1
        
        Roman Wyrzykowski25.03.25 16:58:03
        
        Инфраструктура окупается, но настолько долго и в таком виде что обычно никакой частник не в состоянии ее построить — только государство. Или вместе.
        Здесь это вид ифраструктуры для всей промышленности и технологии страны и без государстенных капиталовложений не обойтись. Кооперация государства и «частника» может тут сильно помочь.
        Штаты не сильно хотели поддерживать микроэлектронику ии вдруг почти все перенеслось на Тайван. Теперь меняют политику — а вдрг Тайван тью тью и нету своих чипов у США …
        
        #1298934 ↑
        
        1
        
        DimaY25.03.25 17:24:56
        
        Мы говорим об одном и том же, только разными словами. Поддержка государства может выглядеть по разному. Это не обязательно должно выглядеть как создание большого совхоза. Это может быть льготный лизинг оборудования, это очень удачно было применено в сельском хозяйстве, результат мы знаем. Частно-государственное партнерство. Например в инфраструктуре, самый северный мост через Енисей — Подгорный, был построен государством совместно с золотодобывающей компанией Полюс. При этом Полюс часть свое участия покрыл поставкой инертных материалов, для строительства моста и развязок. Все по разному. Но в области микроэлектроники нельзя задавить частную инициативу и сделать чисто государственный проект, это все равно что пошив женского белья вновь взять под контроль чиновничьего аппарата. Получатся типовое белье по ГОСТу, которое будет возможно гигиенично, но абсолютно одинаковое у всех. В СССР был ГОСТ — Фигуры военослужащих. В микроэлектронике тоже нужно оставлять свободу творцу, но с ответсвенностью в финансовом плане.
        
        Отредактировано: DimaY~17:28 25.03.25
        
        #1298936 ↑
        
        0
        
        Roman Wyrzykowski25.03.25 18:20:21
        
        Все понятно, но без импулься со стороны государства — финансового в конце концов — никакого сдвига в этой сфере бы не произошло. Совхоз нет, но какой-то план развития поддерживамемый деньгами должен быть типа национального плана и инструментов его осуществления. Государство должно быть активное и без госденег не обойтись.
        Последние новости обнаддеживают.
        
        Отредактировано: Roman Wyrzykowski~18:21 25.03.25
        
        #1298939 ↑
        
        0
        
        DimaY26.03.25 01:12:34
        
        А что Вы думаете о стратегии развития энергетики России до 2042 года? Она опубликована. Мне интересно Ваше мнение.
        
        #1298959 ↑
0

КТ83525.03.25 15:20:17

А до этого были литографы на 600 нм, ещё советской разработки? Значит эта разработка — первый постсоветский литограф?

Отредактировано: КТ835~16:11 25.03.25

#1298927 ↑
- 1
  
  DimaY25.03.25 16:16:17
  
  Не совсем. РСФСР литографы не делал, в СССР это производство было в БССР г. Минск, но сразу надо оговориться, что литографы создавались в СССР в рамках очень большой кооперации. Белорусы после развала выпустили несколько новых моделей. Для РФ это вообще новое направление, поэтому и делается в кооперации с белорусами.
  
  #1298928 ↑
  - 2
    
    Roman Wyrzykowski25.03.25 16:23:56
    
    Белорусские наработки использовали для механической части, а оптическая система совершенно новая — созданная в РФ.
    
    #1298930 ↑
    - 0
      
      DimaY25.03.25 17:02:08
      
      Я знаю, я такую лампочку даже в руках держал, кое что досталось и от советского наследия. Да и оптики сохранились. Собственно оптику и при СССР для Минска во многом в РСФСР делали. Там большая кооперация была с очень широкой географией. Так что я вообще не понимаю, вой, что белорусы участвуют в этом проекте. Это же просто восстановились старые кооперационные связи. Жаль не все участники сохранились.
      
      #1298935 ↑
      - 0
        
        Roman Wyrzykowski25.03.25 18:25:18
        
        В ролике говорится что оптика новая и что старая не давалa шансов на развитие в перспективе (это говорит руководитель разработки).
        И я верю разработчикам когда что-то говорят про свою разработку.
        
        Отредактировано: Roman Wyrzykowski~18:28 25.03.25
        
        #1298940 ↑
      - 1
        
        Roman Wyrzykowski25.03.25 23:18:56
        
        Теперь уже не лампа в оптике, а твердотельный лазер — российской разработки.
        
        #1298952 ↑
        
        0
        
        DimaY26.03.25 00:22:42
        
        О как! В белорусском литографе использовали твердотельный лазер из недружественной страны и это была проблема. Не потому что из недружественной страны, а потому что твердотельный лазер с длиной волны около 350 нм. Наши сделали твердотельный лазер около 350 нм и диаметром облучения около 26 см? Это круто! Но думается там дрш-1000. Come in the USSR. И это не критика.
        
        #1298955 ↑
  - 0
    
    КТ83525.03.25 16:24:59
    
    Я про другое. Это действительно первый действующий постсоветский? Опытные не в счёт. А до 350 нм, свои литографы на какую топологическую норму были? Данные какие мог найти — 600 нм.
    
    Отредактировано: КТ835~16:25 25.03.25
    
    #1298931 ↑
    - 1
      
      DimaY25.03.25 16:56:40
      
      Зайдите на сайт Планара, там все написано. Но Вы не только на нм смотрите, но и на размер чипа. У Планара был на 350, но под очень маленький чип, такой годится только для простейших контроллеров.
      
      #1298933 ↑
- 0
  
  Захарка25.03.25 18:40:23
  
  Литографическое оборудование делали на «Планаре», в Белорусской ССР. И то, насколько я понимаю, работать в этом направлении начали ближе к распаду СССР.
  А так литографы делала ГДР (модель Carl Zeuss Jena ZBA-20). Довольно хорошие, к слову. Но после объединения Германии все это пошло прахом.
  
  #1298941 ↑
  - 0
    
    DimaY26.03.25 00:36:38
    
    Вы про прах, а специалисты куда делись? Думаете пошли улицы мести и мусор по цвету сортировать, оптики же. Нет, посмотрите кто делает оптику для голландских литографов. А Jena выпускает лучшие в мире двулучевые спектрофотометры и очень успешные атомно-абсорбционные спектрометры. Carl Zeuss делает очень хорошие микроскопы и линзы для смартфонов. И еще много всего. А высшим пиком литографов Carl Zeuss Jena ZBA-20 был компьютер роботрон, он фигурирует в сериале ГДР. Но у роботрона не было жесткого диска, это был клон PC XT, но без жесткого диска.
    
    #1298957 ↑
3

colt70025.03.25 22:45:09

Микросхемы, изготовленные с размером 350 нм и 130 нм, используются практически везде — в автомобилях, самолетах, ракетах, спутниках, энергетике, телекоммуникациях, промышленной автоматике, потребительской электронике и т. д.
Выпуск собственных чипов внутри страны на собственном оборудование закроет большую долю рынка и спрос будет всегда.

#1298949 ↑
- 0
  
  DimaY26.03.25 00:40:14
  
  Поддерживаю!
  
  #1298958 ↑
0

191230706629.03.25 23:51:04

Кому интересно на ютубе есть интервью руководителя «ПЛАНАРА» Сергея Авакова белорусскому телеканалу,а также репортажи с «ПЛАНАРА» во время посещения Лукашенко.

#1299172 ↑

Обсуждаемые

Завод ГАЗ оснастили новыми роботами

Фото: ГАЗНа Горьковском автозаводе (ГАЗ) в 2025 году начали работу восемь новых робототехнических комплексов, в которых задействовано 55 роботов. Общ...

24 1375