Основной сферой применения продукции проектной компании является опытное и мелкосерийное производство электроники: изготовление микро- и наноэлектромеханических устройств, кварцевых микрорезонаторов. Также такие установки используются для электронно-лучевого и магнетронного напыления, ионного и плазмохимического травления, PVD и CVD осаждения с целью формирования функциональных покрытий*.

0 читать дальше