РОСНАНО начало финансирование проекта по расширению выпуска автоматизированных вакуумных установок на базе производственных мощностей ООО «ЭСТО-Вакуум».
Основной сферой применения продукции проектной компании является опытное и мелкосерийное производство электроники: изготовление микро- и наноэлектромеханических устройств, кварцевых микрорезонаторов. Также такие установки используются для электронно-лучевого и магнетронного напыления, ионного и плазмохимического травления, PVD и CVD осаждения с целью формирования функциональных покрытий*.
читать дальше