Установка магнетронного напыления ЭТНА-М
Малогабаритная установка магнетронного напыления ETNA-M разработчик и производитель ООО «СИТЭК»
Установка магнетронного напыления ETNA-M предназначена для осаждения металлических слоев. Реактор выполнен из нержавеющей стали с верхним фланцем, несущим на себе функцию нагрева образцов. На нижнем фланце располагается водоохлаждаемый магнетрон с питанием постоянным током. Ориентирована на лабораторное исследовательское и образовательное применение, а также мелкосерийное производство.
Технические параметры:
- поштучная обработка образцов диаметром до 100 мм;
- расположение — лицом вниз;
- максимальная температура нагрева — 350 ºС;
- диаметр используемых мишеней — 76 мм;
- мощность источника постоянного тока 1100 Вт;
- напряжение максимальное — 1000 В;
- откачка на базе сухого спирального и турбомолекулярного насосов;
- количество газовых каналов — один с максимальным расходом 20 см3/мин;
- способ регулирования — электронный регулятор;
- предельный вакуум — 10-6 торр;
- управление — автоматическое от ПК или ручное;
- контроль давления — с использованием химически стойкого мембранного датчика, блокировки на открытие клапанов;
- рабочее давление в реакторе — порядка 0.5 Па, определяется потоком газа через магнетрон;
- инфраструктурные требования — сжатый воздух;
- питание - 220 В, не более 3 кВт;
- масса не более 350 кг;