Сотрудники НИЛ «Проблемная радиоастрономическая лаборатория» Института физики Казанского федерального университета (КФУ) установили зависимость концентрации электронов, электронной и газовой температур в высокочастотном индукционном разряде пониженного давления от частоты электромагнитного поля. Научная работа велась в рамках проекта РНФ «Численное и экспериментальное исследование высокочастотной плазмы пониженного давления для модификации поверхностей функциональных материалов», которым руководит доцент кафедры радиофизики Института физики Александр Шемахин. Полученные исследователями КФУ данные представлены в журнале Plasma Sources Science and Technology.

Разрядная камера ВЧ-плазменной индукционной установки обработки материалов. Светятся метастабильные атомы плазмообразующего газа аргона. © scientificrussia.ru

0 читать дальше