Ученые предприятия Холдинга «Швабе» модернизировали процесс изготовления меза-элементов матрицы фотоприемных устройств (МФПУ).
Сегодня новая технология используется при выполнении опытно-конструкторских работ предприятия в области изготовления матриц фотоприемных устройств (МФПУ) ультрафиолетового и ближнего инфракрасного диапазонов спектра, в том числе матриц мегапиксельного формата.
Результаты научного эксперимента ученые опубликовали в статье «Ионно-лучевое травление для формирования мезаструктур МФПУ» в журнале «Прикладная физика».