Создание отечественного оборудования для производства микроэлектронных компонентов — одна из сложнейших и в то же время базовых задач для отечественной микроэлектроники. Без ее решения любые производства будут находиться в постоянной зависимости от воли иностранных государств. Но масштаб этой задачи трудно переоценить — не зря она покорилась лишь совсем немногим. Поэтому нет ничего удивительного в том, что ее взялись решать в рамках Союзного государства.
Вопрос: Одна из самых трудоемких задач для отечественной микроэлектроники сегодня — это создание собственного литографического оборудования. Насколько я знаю, совместно с белорусскими коллегами завершена разработка установки на 350 нм и уже ведется изготовление серийных машин. Какой главный технологический вызов удалось преодолеть в кооперации с Минском?