ООО «НПО «Центротех» (предприятие Топливной компании Росатома «ТВЭЛ», г. Новоуральск, Свердловская область) получило статус отечественного производителя металлических порошков для производства изделий методом порошковой металлургии, наплавки, напыления, 3D-технологий или реализации в качестве товарной продукции на российском рынке, а также экспорта в страны таможенного союза.
Малогабаритная установка магнетронного напыления ETNA-M разработчик и производитель ООО «СИТЭК»
Установка магнетронного напыления ETNA-M предназначена для осаждения металлических слоев. Реактор выполнен из нержавеющей стали с верхним фланцем, несущим на себе функцию нагрева образцов. На нижнем фланце располагается водоохлаждаемый магнетрон с питанием постоянным током. Ориентирована на лабораторное исследовательское и образовательное применение, а также мелкосерийное производство.
Технические параметры:
поштучная обработка образцов диаметром до 100 мм;
расположение — лицом вниз;
максимальная температура нагрева — 350 ºС;
диаметр используемых мишеней — 76 мм;
мощность источника постоянного тока 1100 Вт;
напряжение максимальное — 1000 В;
откачка на базе сухого спирального и турбомолекулярного насосов;
количество газовых каналов — один с максимальным расходом 20 см3/мин;
способ регулирования — электронный регулятор;
предельный вакуум — 10-6 торр;
управление — автоматическое от ПК или ручное;
контроль давления — с использованием химически стойкого мембранного датчика, блокировки на открытие клапанов;
рабочее давление в реакторе — порядка 0.5 Па, определяется потоком газа через магнетрон;