-
первый российский литограф уже создан и проходит испытания © avatars.mds.yandex.netВ России создан первый отечественный литограф, который позволит печатать чипы с разрешением до 350 нанометров. Сейчас он проходит испытания в Зеленограде.
Об этом сообщил замминистра промышленности и торговли России в кулуарах конференции «Цифровая индустрия промышленной России» (ЦИПР), проходящей в Нижнем Новгороде с 21 по 24 мая.
-
Фото: Пресс-служба Департамента инвестиционной и промышленной политики Москвы © avatars.mds.yandex.netРезидент особой экономической зоны (ОЭЗ) «Технополис Москва» — завод «Микрон» (входит в ГК «Элемент») — на конец 2023 года предприятие заместило отечественными аналогами 26 материалов, которые ранее приобретались у зарубежных производителей.
-
Учёные из Санкт-Петербургского политехнического университета Петра Великого создали комплекс оборудования для выпуска наноструктур и микроструктур, которые применяются при изготовлении FED-дисплеев, солнечных элементов, электровакуумного оборудования, чувствительных элементов датчиков
и т. д. 
РИА Новости © Евгений Биятов © russian.rt.comОб этом в интервью RT рассказал заведующий научно-исследовательской лабораторией «Технологии материалов и изделий электронной техники» научного центра мирового уровня «Передовые цифровые технологии» СПбПУ Артём Осипов.
-
© ria.ruУченые научного центра мирового уровня «Передовые цифровые технологии» Санкт-Петербургского политехнического университета Петра Великого (СПбПУ) разработали импортозамещающий технологический комплекс, на котором можно создавать наноструктуры, необходимые для работы различного микроэлектронного оборудования.
Комплекс состоит из двух частей. Первая — промышленный образец установки безмасочной нанолитографии. Второй элемент комплекса — промышленный образец установки плазмохимического травления кремния. Разработка комплекса поможет решить вопрос технологического суверенитета России в этом направлении в сфере микроэлектроники, отметили в ведомстве.
-
Саров © atomic-energy.ruГлава правительства поручил Минпромторгу и Минэкономразвития проработать предложения госкорпорации «Росатом» по нескольким научным проектам, связанным с Национальным центром физики и математики в Сарове.
Первый проект связан с разработкой отечественного рентгеновского литографа и соответствующих производственных технологий для его использования.
Второй проект касается разработки фотонной компонентной базы и фотонных вычислительных модулей, которые могут быть применены в высокопроизводительных вычислениях, сверхбыстрых телекоммуникациях и радиофотонике.
Третий проект предполагает создание систем управления и навигации в ближнем космосе на основе оптических и рентгеновских технологий.
-
Фотолитография с пятнадцатилетним опозданием © stimul.onlineСтеппер ASML: ключевое звено в производстве микросхем. Стоимость прибора около $170 млн
Две зеленоградские организации по заказу Минпромторга занялись разработкой фотолитографов (степперов) для реализации разных проектных норм. Это Зеленоградский нанотехнологический центр, который будет разрабатывать фотолитограф на 130 нм и Центр коллективного пользования «Микросистемная техника и электронная компонентная база» при НИУ «Московский институт электронной техники» (ЦКП «МСТ и ЭКБ» МИЭТ), взявшийся за разработку концепции безмасочного экстра ультрафиолетового (ЭУФ) с длиной волны излучения менее 13,5 нм литографа с разрешением 28 нм и менее. Первый необходим для поддержания существующего уровня российской микроэлектроники, второй — для достижения самого современного уровня. О ходе работ в этом направлении пишет журнал об инновациях в России «Стимул» (Статья публикуется одновременно также в журнале «Эксперт»).
-
03.07.2020 10:01
Ученые Новосибирского института органической химии СО РАН (НИОХ СО РАН) синтезировали акрилат-силоксановый гибридный мономер — фотополимерный материал c добавлением кремния, который обладает чувствительностью к синхротронному излучению (СИ) и хорошо подходит для создания сложных микроструктур на твердых подложках методом рентгеновской литографии. Ключевая сфера применения данной технологии — производство микросхем, при этом зачастую используются дорогостоящие импортные полимеры, например, на основе эпоксидной смолы. Новый материал может стать хорошей альтернативой зарубежным аналогам. Эксперименты с использованием СИ, проведенные специалистами Института ядерной физики им. Г.И. Будкера СО РАН (ИЯФ СО РАН), подтвердили его эффективность. Результаты представлены в журнале «Химия высоких энергий».
-
Инженеры осваиват оборудование. Настраивают и отрабатывают технологические процессы.
© angstrem-t.com -
Четвёртый квартал 2015 года. Крупнейший в СНГ завод производства микроэлектроники.
-
-
Как вы, возможно, помните дорогие друзья, мастер Левша из произведения Лескова прославился тем, что подковал стальную английскую блоху, изготовив для этого не только подковы, но и гвозди. Современные технологии 3D-печати позволяют производить изделия, толщина которых в 7-10 раз меньше человеческого волоса, но до сегодняшнего дня в России не производили подобных машин. Эту несправедливость решил исправить Сергей Иванов, мастер из Санкт-Петербурга, изобретший SLA 3D принтер, аналогов которому по принципу формирования слоя и по соотношению цена-качество не существует в мире. О своем изобретении автор подробно рассказывает в своем блоге.
-
-
Ученым из Самарского филиала (СФ) Физического института им. П.Н. Лебедева РАН удалось теоретически описать распространение структурно устойчивых когерентных световых пучков и их преобразование в линейных оптических системах. Результаты этих исследований открывают возможность создания лазеров, генерирующих пучки с заданными свойствами, что важно для развития лазерной оптики, медицины, технологии обработки металлов. О результатах исследований «ФИАН-информ» рассказала сотрудник лазерно-измерительной лаборатории СФ ФИАН Евгения Вадимовна Разуева.
-
- raz4
На рисунке: Спиральный пучок сложной структуры (интенсивность и фаза). Несмотря на свой «рукотворный» вид, данный пучок такой же естественный физико-математический объект, как и обычные лазерные пучки, является точным решением уравнения Шредингера и сохраняет структуру интенсивности при распространении
-
-
Впервые в России создан стенд проекционного нанолитографа с рабочей длиной волны 13,5 нм и расчетным разрешением 30 нм. Изображение наноструктуры с уменьшением 1:5 проецируется на фоторезисте с помощью двузеркального асферического объектива. Создание стенда свидетельствует о наличии в России ключевых технологий, позволяющих разрабатывать и производить литографическое оборудование, которое в ближайшие годы станет основным при производстве чипов с топологическими нормами 8-22 нм.
-
РОСНАНО и MAPPER Lithography, голландская компания-разработчик систем безмасочной литографии, объявляют о начале инвестиций в производство инновационного литографического оборудования. Общая сумма сделки составляет €80 млн, доля РОСНАНО — €40 млн. Такую же сумму вкладывают акционеры MAPPER, — инвестиционные компании ADP Industries, Parcom Capital (Parc-IT) и Hoving & Partners, технологические компании Technolution и DEMCON, ряд частных инвесторов и семейных инвестиционных фондов, а также Агентство Нидерландов при министерстве экономики, сельского хозяйства и инноваций. Существенная часть инвестиций РОСНАНО будет направлена на создание в России производства ключевого компонента литографических систем MAPPER.
Компания MAPPER Lithography, основанная в Делфтском техническом университете, разрабатывает литографическое оборудование нового поколения на основе технологии множественных электронных лучей (multiple e-beam), позволяющей обойтись без дорогостоящих литографических масок. Технология MAPPER сочетает ранее практически недостижимую разрешающую способность (22 нм и выше) с высокой производительностью, позволяя обрабатывать до 100 кремниевых подложек в час.
Инвестиции позволят компании MAPPER выпустить несколько поколений оборудования Matrix. Модель Matrix 1.1, намеченная к выпуску в 2012 году, использует более 1300 электронных лучей и обрабатывает одну подложку в час. Модель Matrix 10.1, использующая 13 260 электронных лучей, обладает производительностью 10 подложек в час. Кластерная система Matrix 10.10, состоящая из десяти установок Matrix 10.1, способна обрабатывать 100 подложек в час, что соответствует требованиям массового производства микросхем. В рамках инвестиционного проекта производственные мощности MAPPER будут расширены до 20 литографических машин в год.
В России планируется создать предприятие по выпуску электронной оптики на основе микроэлектромеханических систем (МЭМС) — ключевого компонента оборудования MAPPER. Производство требует использования уникальных технологий в области МЭМС. Мощность российского предприятия составит до 20 систем электронной оптики в год, каждая из которых способна управлять 13 260 параллельными электронными лучами. Проект ориентирован на сотрудничество с ведущими российскими профильными исследовательскими институтами.
-
Рис. 1. «Звезда» на поверхности графита
Научно-производственное предприятие «Центр перспективных технологий» разработало новый метод нанолитографии для углеродных материалов, который заключается в анодном окислении поверхности с помощью зонда атомно-силового микроскопа. С методом зондовой нанолитографии можно было ознакомиться в ходе мастер-класса. Его провели сотрудники центра в рамках конференции в Московском государственном университете имени М. В. Ломоносова.
Зондовым методам, при которых для исследования поверхности применяются атомно-острые иглы (зонды), в последнее время уделяется особое внимание. В наномире зонды, подобно пальцам, позволяют прикасаться к отдельным атомам. Современные приборы могут с высокой точностью отслеживать наноскопические перемещения зонда при движении вдоль поверхности, повторяющие рельеф атомных структур. Так рождаются завораживающие изображения наномира. На рис. 1 показана «звезда» на поверхности графита, толщина лепестков которой составляет всего 5 атомов углерода.
Добавить новость
можно всем, без премодерации, только регистрация
