Холдинг «Росэлектроника» Госкорпорации Ростех разработал технологии получения, хранения и транспортировки высокочистых газов, применяемых при изготовлении современной микроэлектронной продукции. Собственное производство высокочистых газов позволит заменить импортные материалы, используемые при выпуске отечественных электронных компонентов, и создавать высокотехнологичные изделия, востребованные на рынке микроэлектроники.
Многие специальные газы необходимого для микроэлектронной отрасли уровня чистоты в России до настоящего времени не изготовлялись. Входящее в «Росэлектронику» НПП «Салют» разработало технологии промышленного производства моносилана, арсина, фосфина, аммиака, бора трехфтористого, бора треххлористого.












